主要特點 / MAIN FEATURE
主要特點 / MAIN FEATURE
● 樣品類型：粉體樣品，旗形樣品，其他樣品類型可定制
● 可與超高真空XPS，STM，及其他UHV系統互聯
● 腔體加熱400℃，控溫精度±1℃
● 復雜管氣路，可最多具備八種前驅體、兩路氧化還原氣路和三路載氣
● 設計的高溫鼓泡器，可提高低蒸氣壓固態源反應效率和重復性
● 自動化控制系統，可自行編程實現不同類型ALD樣品生長
● 控制系統帶安全互鎖報警功能
● 采用PID自動控溫，帶模糊算法自整定
● 全金屬密封，適用于腐蝕性反應
● 實時測控氣體流量和監測真空度
● 在線原位分析氣體成分
● 自帶臭氧發生器，反應殘留物熱分解裝置
● 樣品類型：粉體樣品，旗形樣品，其他樣品類型可定制
● 可與超高真空XPS，STM，及其他UHV系統互聯
● 腔體加熱400℃，控溫精度±1℃
● 復雜管氣路，可最多具備八種前驅體、兩路氧化還原氣路和三路載氣
● 設計的高溫鼓泡器，可提高低蒸氣壓固態源反應效率和重復性
● 自動化控制系統，可自行編程實現不同類型ALD樣品生長
● 控制系統帶安全互鎖報警功能
● 采用PID自動控溫，帶模糊算法自整定
● 全金屬密封，適用于腐蝕性反應
● 實時測控氣體流量和監測真空度
● 在線原位分析氣體成分
● 自帶臭氧發生器，反應殘留物熱分解裝置
ALD 系統性能測試數據 / ALD TEST DATA
ALD 系統性能測試數據 / ALD TEST DATA
技術參數 / TECHNICAL DATA
技術參數 / TECHNICAL DATA
| 主腔體 | 腔體尺寸 | 內徑40mm ×長度 980mm，可定制其他尺寸 |
| 材質 | 316SS | |
| 工作溫度 | RT~400℃ | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 前驅體運輸 | 4個低溫前驅體源 | (CH3)3Al，(CH3)3Ge，H2O etc |
| 4個高溫前驅體源 | Fe(Cp)2， | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 氣體流量控制 | 5路氣體流量控制，流量范圍0~500sccm | |
| 載氣 | N2，Ar | |
| 反應氣 | O2/O3，H2 | |
| 控溫路數 | 最多48路，控溫精度±1℃ | |
| 閥門控制路數 | 最多24路，控制精度15ms | |
| 控制系統 | 主控單元，加熱單元，測溫單元 | |
| 軟件控制 | LabVIEW 圖形化設計，PID自動控溫、帶模糊算法自整定，可編程帶安全互鎖報警功能 | |
| 可選模塊 | 殘余氣體分析模塊 | |
| 等離子體模塊 | ||
| QCM原位監測模塊 | ||
| 橢偏儀光學原位檢測模塊 | ||
| FRIT光譜原位檢測模塊 | ||
