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  • R-200 Advance 原子層沉積系統

R-200 Advance 原子層沉積系統

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2024-08-11
  • 廠商性質其他
  • 所在地區上海
  • 實名認證已認證
  • 產品數量167
  • 人氣值951
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R-200 Advance 原子層沉積系統 產品詳情

適用 2 - 8 inch 晶圓,156mm × 156mm 太陽能硅片

可適用于多孔,通孔,高深寬比樣品(可達 1 : 2500)

工藝溫度:50 - 500℃

Advance 型號配有等離子處理系統,工藝溫度 450℃(可選配特定chuck盤至 650℃)

適用鍍膜種類:Al2O3,TiO2,SiO2,Ta2O5,HfO2,ZnO,ZrO2AlN,TiN,Pt,Ir 等

手動上料,可選配機械臂,搬運機器人或 Cassette-to-Cassette 上料

前驅體種類:液體、固體、氣體、臭氧源、等離子體等

關鍵詞:搬運機器人
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