EVG 620BA 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)通過(guò)使用高精度的測(cè)量傳感器，如相機(jī)或掃描儀，來(lái)確定樣品的對(duì)齊情況，并使用控制系統(tǒng)對(duì)樣品進(jìn)行微調(diào)，以確保樣品的精確對(duì)齊。
主要特點(diǎn)
● 高精度：通過(guò)高精度的測(cè)量傳感器來(lái)確定樣品的對(duì)齊情況，以保證樣品的精確對(duì)齊
● 高速度：通過(guò)快速的控制系統(tǒng)，系統(tǒng)可以快速地對(duì)樣品進(jìn)行微調(diào)，以確保樣品的精確對(duì)齊
● 高可靠性：EVG 620BA 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)了嚴(yán)格的質(zhì)量控制和測(cè)試，以保證其高可靠性和可靠性
主要應(yīng)用領(lǐng)域
● 光學(xué)鍵合：通過(guò)精確對(duì)齊樣品來(lái)保證光學(xué)鍵合的高質(zhì)量
● 光刻：精確對(duì)齊樣品以確保光刻的高質(zhì)量
● 光電處理：通過(guò)精確對(duì)齊樣品來(lái)保證光電處理的高質(zhì)量
● 其他光學(xué)處理應(yīng)用：EVG 620BA 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)可用于其他光學(xué)處理應(yīng)用，如微納光學(xué)等
