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P-300B 原子層沉積系統

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2024-08-11
  • 廠商性質其他
  • 所在地區上海
  • 實名認證已認證
  • 產品數量167
  • 人氣值951
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P-300B 原子層沉積系統 產品詳情

襯底尺寸和類型

200mm 晶圓 25片/批次(標準間距)

150mm 晶圓 50片/批次(標準間距)

100mm 晶圓 75片/批次(標準間距)

非標準晶圓類基底(使用定制夾具)

高深寬比基底(深寬比 1 : 2500)


工藝溫度

50°C – 500°C


標準工藝

批量生產的平均工藝時間小于 10 秒/循環*

Al2O3,SiO2,Ta2O5,HfO2,ZnO,TiO2,ZrO2,AlN,TiN 及各種金屬

同一批次薄膜不均勻性 < 1% 1σ,(Al2O3,WIW,WTW,B2B,49pts,5mm EE)**


基片加載

氣動升降

手動裝載

線性半自動裝載


前驅體

液態,固態,氣態,臭氧源

源瓶余量傳感器,提供清洗和裝源服務

4 根獨立的源管線,最多加載 8 個前驅體源

關鍵詞:標準 傳感器
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