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公司介紹主營產品

上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領域的設備銷售、系統集成、設備國產化的公司。主要為高校、研究所、中試量產線及晶圓FAB廠提供半導體工藝設備、檢測設備、封裝設備、測試設備。目前公司已成為國內少數幾家專業提供半導體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業。公司主要成員為復旦大學、上海微系統所等半導體相關專業博士，擁有一支經驗豐富、技術過硬的團隊。能夠出色地完成售前售中、售后的服務。目前公司已與眾多國際半導體設備企業建立了良好的合作關系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根據用戶的科研方向和量產的器件類別提供相應的全套設備選型和工藝整體解決方案。

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產品簡介在線詢價

PICOSUN® R-200 標準 ALD 系統適用于數十種應用的研發，例如 IC 組件、MEMS 設備、顯示器、LED、激光器和 3D 對象，例如透鏡、光學器件、珠寶、硬幣和醫療植入物。

R-200 Standard 原子層沉積系統產品詳情

標準基板尺寸與類型

● 50 mm - 200 mm 單晶片

● 156 mm × 156 mm 太陽能硅晶片

● 3D 對象

● 粉末和顆粒

● 小批量

● 多孔、通孔和高縱橫比（高達 1：2500）

工藝溫度

● 50℃ - 500℃

標準工藝

● Al₂O₃、TiO₂、SiO₂、Ta₂O₅、HfO₂、ZnO、ZrO₂、TiN、AlN、Pt 或 Ir 等金屬

基板裝載

● 使用氣動升降機手動裝載

● 帶磁性機械臂的負載鎖

前驅體

● 液體、固體、氣體、臭氧

● 多達 6 個源、帶 4 個獨立入口

其他選項

● Picoflow™ 擴散增強劑、RGA、N₂ 發生器、氣體洗滌器、定制設計、惰性裝載手套箱兼容性

關鍵詞：標準發生器手套箱

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