光刻機又名:掩模對準曝光機,曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng),光刻機,紫外曝光機等;
MIDAS為的半導體設備供應商,多年來致力于掩模對準光刻機和勻膠機研發(fā)與生產,并且廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域;該公司是目前早將光刻機商品化的公司之一,擁有雄厚的技術研發(fā)力量和設備生產能力;并且其設備被眾多企業(yè)、研發(fā)中心、研究所和高校所采用;以優(yōu)秀的技術、的工藝和良好的服務,贏得了用戶的青睞。
產地:韓國MIDAS公司,能做到圖形化藍寶石襯底(PSS)光刻機,高性價比
型號:MDA-400M
廠家鏈接:.cn/
MDA-400M
易于操作和安裝,處理各種尺寸的基板,帶觸摸屏面板的PLC控制
?全手動類型
?掩模版尺寸達5英寸
?基板尺寸為4英寸圓形
?均勻光束尺寸4.25*4.25英寸
?光源:紫外線燈,350 W
?光束波長350~450 nm
?光束均勻性<±3%
?365 nm強度 ~25 mW/?
?手動對準
?對準精度1 um
?操作模式:軟、硬、真空接觸和接近
?工藝分辨率 1 um@1 um PR厚度,帶真空觸點
?尺寸(mm)1080(寬)*1060(深)*1580(高)