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低壓化學氣相沉積(LPCVD)

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  • 更新時間2023-01-14
  • 廠商性質其他
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深圳海創德科技有限公司成立于2012年,由數位理工科博士創辦,團隊成員均為理工科博士和碩士,具有高水平的專業水準。公司致力于半導體微加工及分析設備的銷售和安裝服務,產品覆蓋薄膜制備,物性測量和表面分析。經營的主要產品如下:1. 磁控濺射、電子束蒸發、熱蒸發、PECVD、LPCVD、ALD、RIE、ICP、RTP、涂膠機和熱板等薄膜技術相關的設備;2. 美國Kimball Physics的電子槍、離子槍、真空腔體和熒光屏等部件;美國OCI的LEED和AES等各種真空組件;美國MicroXact的真空、低溫和磁場等數種探針臺;3. 我們還提供上述設備的配套部件及耗材,如直流和射頻電源、靶材、探針、光刻膠和ALD耗材等。我們的產品性價比高,品質精良,性能*,在歐美及中國臺灣地區具有的口碑,國內眾多的科研院所和大學均對我們的產品報以好評。我們期待以優質的產品,良好的服務和專業的技術為更多的客戶提供解決方案!期待與您的合作!
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低壓化學氣相沉積(LowPressureChemicalVaporDeposition,LPVD)是指在較低氣壓下環境進行薄膜沉積,可進行大面積小批量樣品沉積
低壓化學氣相沉積(LPCVD) 產品詳情


低壓化學氣相沉積(Low Pressure Chemical Vapor Deposition, LPVD)是指在較低氣壓下環境進行薄膜沉積,可進行大面積小批量樣品沉積。


技術參數:

1 基片尺寸可定制,可達10 英寸;

2 加熱溫度 1700 ℃,單溫區或者多溫區可選;

3 最多可配置6路工藝氣體;

4 配備油泵或者干泵,可選配分子泵;

5 樣品水平,垂直兩種配置模式;

6 可小批量量產;


應用領域:

LPCVD

退火

擴散

氧化

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