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SAL-3000Plus SAL-3000PlusALD原子層沉積...

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  • 型號SAL-3000Plus
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-04-01
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區上海市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量54
  • 人氣值1478
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SAL-3000PlusALD原子層沉積...
SAL-3000PlusALD原子層沉積... 產品詳情

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SAL-3000Plus ALD原子層沉積系統

SAL3000Plus是一款可拓展型的ALD原子層沉積系統,可通過連接STR2000轉移單元,與退火設備SAN2000Plus,鍍膜設備,SVE2000Plus蒸鍍設備,SSP2000Plus/SSP3000Plus磁控濺射設備搭配;

SAL3000pLUS.pngSAL-3000pus+轉移倉.png

SAL-3000Plus SAL3000-Plus+STR2000+SAN2000Plus

性能及特點:

1.鍍膜質量高

ALD技術對比.gif

· 膜厚均勻性≤3% @ 100mm

· 對于內孔、凹槽與高深寬比結構具有良好的沉積均勻性;

· 膜厚可準確控制達一個原子層;

· 大面積制程可達到無孔洞薄膜(Pin Hole free)

· *的重復性及穩定性

· 材料缺陷密度低

· 可成長非晶型或結晶薄膜(選擇溫度)

2.兩種成膜方向可選

str-2000+interface.gif

· 可選擇將薄膜沉積在基底上表面和基底下表面,薄膜沉積在基底下表面可降低顆粒附著基底的風險。

3. 可通過STR2000與其它Plus系列設備串聯

4.最多可搭載6路前驅體

5.優異的真空性能:真空度≤5Pa

6.圖形用戶界面,觸控操作,簡單易用,可存儲30多種鍍膜方案

7.與SAL3000相比,寬度減少了40%

6. 可搭配多種配件:

干式真空泵,臭氧發生器,尾氣處理裝置,800℃基底加熱器,200℃前驅體加熱器等,退火設備等;

SAL3000pLUS配件.gif

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