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SAL-1000 SAL1000系列桌面型ALD原子層沉積...

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  • 型號SAL-1000
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-04-01
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區上海市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量54
  • 人氣值1467
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SAL1000系列桌面型ALD原子層沉積...
SAL1000系列桌面型ALD原子層沉積... 產品詳情

AGUS-logog-GIF.gif

SAL-1000 ALD原子層沉積系統

SAL-1000Series是由日本AGUS生產的桌面型ALD原子層沉積設備,可搭載2路前驅體。適用于4英寸(φ 100mm)基片的沉積,并可搭載粉末樣品架和手套箱。

SAL-1000SERIES.gif

SAL-1000Sseries原子層沉積設備具備如下特點:

1. 良好的成膜性能,膜厚均勻性高,≤3%

·對于內孔、凹槽與高深寬比結構具有良好的沉積均勻性;

· 膜厚可精準控制達一個原子層;

· 大面積制程可達到無孔洞薄膜(Pin Hole free)

· *的重復性及穩定性

· 材料缺陷密度低

· 可成長非晶型或結晶薄膜(選擇溫度)

ALD技術對比.gif

2. 優異的真空性能,真空度≤5Pa

3. 觸控操作,簡單易用;

·觸摸屏使用戶可以輕松設置配方或沉積過程,并檢查每個驅動系統的運動。

·可進行自動沉積,并在沉積完成后自動完成N2排放。

image.png

·手套箱的真空排氣和惰性氣體的引入也可自動完成。

4. 配件豐富,可滿足多種試驗需求:

基底旋轉架、粉末樣品配件、手套箱、臭氧發生器、尾氣處理設備、200℃前驅體的加熱器,干式真空泵等;

ALD粉末樣品支架說明.gif

粉末沉積配件:傾斜框架可調整的角度為0 ~ 45°,更便于粉末成膜。單次可對5cm3的粉體進行表面沉積;

SAL-1000配件.gif

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