θxθy軸壓電偏擺鏡內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋，確保了壓電偏擺鏡具有的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級。緊湊型設計，可更好的集成于光學系統中。可根據用戶需求定制安裝及出線方式。
θxθy軸壓電偏擺鏡產品應用：
圖像處理/穩定 隔行掃描，抖動 激光掃描 光束偏擺/穩定 激光通信 光過濾/轉換 納米定位
θxθy軸壓電偏擺鏡產品特性
◆ 結構緊湊，易于集成；
◆ 超大擺角高達；
◆ 采用無摩擦、無回差緊湊的差分式并聯結構柔性導向系統，具有超高的導向精度；
◆ 內置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；
◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋，開/閉環可供選擇，可提供定制安裝及出線方式。
技術參數;
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上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發區，是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發，并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案，滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。
上海納動納米位移技術有限貴公司自主研發的產品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、納米級光束偏轉鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯微位移定位系統、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高精度微位移測量系統等系列產品。
壓電Tip / Tilt平臺內部使用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構，補償量小，確保了擺鏡的運動精度和超高的穩定性。
平臺采用緊湊的差分并聯結構設計且內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋，定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級。
緊湊型設計，可更好的集成于光學系統中。內部有一個或多個壓電陶瓷，由壓電陶瓷產生單軸或者多軸的運動。納動設計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈技術將運動裝置連接到固定基座上。
納米位移臺內置高精密傳感器，閉環控制時，傳感器技術在保證線性度的前提下，可以實現納米級別、亞納米級別的分辨率。
