閉環(huán)壓電偏轉(zhuǎn)鏡內(nèi)部使用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，補(bǔ)償量小，確保了擺鏡的運(yùn)動(dòng)精度和超高的穩(wěn)定性。平臺(tái)采用緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)且內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。
閉環(huán)壓電偏轉(zhuǎn)鏡技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品型號(hào) | PT2M60-240S / -S | PT2M60-500S / -S | PT2M60-1000S / -S | 公差 | |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | θx、θy | θx、θy | θx、θy | - | |
| 傳感器類型 | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - | |
| 標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | 240秒 ≈ 1.2mrad/軸 | 500秒 ≈ 2.5 mrad/軸 | 1000秒 ≈ 5 mrad/軸 | ±20% | |
| 大行程范圍（@-20~+150V） | 300秒 ≈ 1.5 mrad/軸 | 600秒 ≈ 3 mrad/軸 | 1200秒 ≈ 6 mrad/軸 | ±20% | |
| 分辨率 | 0.1 / 0.2 μrad | 0.2 / 0.3 μrad | 0.3 / 0.4 μrad | typ. | |
| 重復(fù)定位精度 | - / 0.05% F.S. | - / 0.2% F.S. | - / 0.3% F.S. | typ. | |
| 線性度 | - / 0.15% | - / 0.2% | - / 0.3% | typ. | |
| 承載能力（*） | Φ50×15mm光學(xué)鏡片 | Φ50×15mm光學(xué)鏡片 | Φ50×15mm光學(xué)鏡片 | typ. | |
| 諧振頻率 | 0g | 2000 Hz | 1400 Hz | 1000 Hz | ±20% |
| 諧振頻率 | Φ50x15mm鏡片 | 1500 Hz | 900 Hz | 600 Hz | ±20% |
| 靜電容量 | 3.4 μF/軸 | 6.8 μF/軸 | 13.6 μF/軸 | ±20% | |
| 工作溫度范圍 | 0~+50 ℃ | 0~+50 ℃ | 0~+50 ℃ | - | |
| 驅(qū)動(dòng)電壓范圍（*）1 | 0~+120 V@固定電壓 | 0~+120 V@固定電壓 | 0~+120 V@固定電壓 | typ. | |
| 線纜長(zhǎng)度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | |
| 外形尺寸(DxL) | Φ59×38 mm | Φ59×56 mm | Φ59×92 mm | - | |
| 重量 | 200 g | 400 g | 800 g | ±5% | |
| 本體材質(zhì)2 | 鋁（B） | 鋁（B） | 鋁（B） | - | |
說(shuō)明：
1.大驅(qū)動(dòng)電壓可在-20V~+150V使用；*使用建議在0~120V驅(qū)動(dòng)電壓下可延長(zhǎng)使用壽命。
2.表面處理:白色(W)/黑色(B)。
應(yīng)用 
• 圖像處理/穩(wěn)定
• 干涉法
• 激光掃描/光束偏轉(zhuǎn)
• 激光調(diào)諧
• 光過(guò)濾/開(kāi)關(guān)
• 光束穩(wěn)定
• 光束掃描
• 隔行掃描、抖動(dòng)
• 光束偏擺/穩(wěn)定
• 光學(xué)、激光掃描、通信
• 光學(xué)濾波器/開(kāi)關(guān)
• 光學(xué)顯微成像
• SPM掃描顯微鏡
• 自適應(yīng)光學(xué)、穩(wěn)像
• 干涉
產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆ 結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成；
◆ 超大擺角高達(dá)；
◆ 采用無(wú)摩擦、無(wú)回差緊湊的差分式并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)，具有超高的導(dǎo)向精度；
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，開(kāi)/閉環(huán)可供選擇，可提供定制安裝及出線方式。
上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱“納動(dòng)納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動(dòng)、精密傳感、精密控制、精密測(cè)量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，并致力于創(chuàng)新開(kāi)發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測(cè)量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)對(duì)超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動(dòng)器、納米級(jí)精密定位臺(tái)/掃描臺(tái)、壓電納米定位平移臺(tái)/升降臺(tái)/偏擺臺(tái)/旋轉(zhuǎn)臺(tái)、納米級(jí)光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級(jí)顯微掃描平臺(tái)、納米級(jí)物鏡聚焦/掃描器、納米級(jí)紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動(dòng)器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺(tái)、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)/控制器、高精度微位移測(cè)量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。
