高精度壓電偏擺鏡通過反射鏡的兩軸快速擺振實現(xiàn)光路調整，以補償振動對光路的影響，或者控制光路產(chǎn)生期望的指向。音圈快反鏡MY603/MY903采用經(jīng)過特殊設計的精密音圈電機作為驅動，輸出力大、響應快、控制精度高；采用反射鏡及支撐結構一體化設計技術，降低了質量/慣量、減小了體積，具有優(yōu)異的動態(tài)特性；采用了轉軸構型優(yōu)化技術，使快反鏡具有良好的控制精度和閉環(huán)帶寬。
高精度壓電偏擺鏡應用 
• 圖像處理/穩(wěn)定
• 干涉法
• 激光掃描/光束偏轉
• 激光調諧
• 光過濾/開關
• 光束穩(wěn)定
• 光束掃描
• 隔行掃描、抖動
• 光束偏擺/穩(wěn)定
• 光學、激光掃描、通信
• 光學濾波器/開關
• 光學顯微成像
• SPM掃描顯微鏡
• 自適應光學、穩(wěn)像
• 干涉
產(chǎn)品參數(shù)
運動軸 | θxθy(Tip/Tilt) |
傳感器類型 | 電容式 |
閉環(huán)行程 | θx：4 θy：6 mrad |
閉環(huán)分辨率 | 0.08 μrad |
線性度 | 0.2 ％ |
無負載諧振頻率 | 1000 Hz |
帶負載諧振頻率（負載重量200g） | 500Hz |
驅動電壓 | -30~+150V |
電纜長度 | 2m |
連接器類型 | D-sub15 |
位移臺材料 | 銦鋼或航空鋁 |
zui大負載 | 5 Inch Mirror |
體積 | 130×130×91mm |
產(chǎn)品特點：
◆ 結構緊湊，易于集成；
◆ 超大擺角高達；
◆ 采用無摩擦、無回差緊湊的差分式并聯(lián)結構柔性導向系統(tǒng)，具有超高的導向精度；
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇，可提供定制安裝及出線方式。
上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統(tǒng)的技術解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動納米位移技術有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、納米級光束偏轉鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。
