大負(fù)載型壓電偏擺鏡采用緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)且內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。緊湊型設(shè)計(jì)，可更好的集成于光學(xué)系統(tǒng)中。內(nèi)部有一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷，由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)。納動(dòng)設(shè)計(jì)和制造的納米位移臺(tái)使用柔性鉸鏈技術(shù)將運(yùn)動(dòng)裝置連接到固定基座上。

大負(fù)載型壓電偏擺鏡產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆ 結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成；

◆ 超大擺角高達(dá)；

◆ 采用無(wú)摩擦、無(wú)回差緊湊的差分式并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)，具有超高的導(dǎo)向精度；

◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；

◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，開(kāi)/閉環(huán)可供選擇，可提供定制安裝及出線方式。

應(yīng)用    

• 圖像處理/穩(wěn)定 

• 干涉法 

• 激光掃描/光束偏轉(zhuǎn)

 • 激光調(diào)諧 

• 光過(guò)濾/開(kāi)關(guān) 

• 光束穩(wěn)定  

• 光束掃描  

 • 隔行掃描、抖動(dòng) 

 • 光束偏擺/穩(wěn)定  

• 光學(xué)、激光掃描、通信  

• 光學(xué)濾波器/開(kāi)關(guān)  

• 光學(xué)顯微成像 

• SPM掃描顯微鏡 

• 自適應(yīng)光學(xué)、穩(wěn)像 

• 干涉 

產(chǎn)品參數(shù)

上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“納動(dòng)納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)，是一家專(zhuān)業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動(dòng)、精密傳感、精密控制、精密測(cè)量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專(zhuān)注于超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，并致力于創(chuàng)新開(kāi)發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測(cè)量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)對(duì)超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專(zhuān)業(yè)研發(fā)制造商。

上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動(dòng)器、納米級(jí)精密定位臺(tái)/掃描臺(tái)、壓電納米定位平移臺(tái)/升降臺(tái)/偏擺臺(tái)/旋轉(zhuǎn)臺(tái)、納米級(jí)光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級(jí)顯微掃描平臺(tái)、納米級(jí)物鏡聚焦/掃描器、納米級(jí)紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動(dòng)器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺(tái)、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)/控制器、高精度微位移測(cè)量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。