二維高速壓電偏擺鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，確保偏轉鏡具有的運動精度和超高的穩定性，通過內置高精度傳感器進行閉環控制，實現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

二維高速壓電偏擺鏡產品特點：

◆ 結構緊湊，易于集成；

◆ 超大擺角高達；

◆ 采用無摩擦、無回差緊湊的差分式并聯結構柔性導向系統，具有超高的導向精度；

◆ 內置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；

◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋，開/閉環可供選擇，可提供定制安裝及出線方式。

 應用    

• 圖像處理/穩定 

• 干涉法 

• 激光掃描/光束偏轉

 • 激光調諧 

• 光過濾/開關 

• 光束穩定  

• 光束掃描  

 • 隔行掃描、抖動 

 • 光束偏擺/穩定  

• 光學、激光掃描、通信  

• 光學濾波器/開關  

• 光學顯微成像 

• SPM掃描顯微鏡 

• 自適應光學、穩像 

• 干涉 

產品參數

上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發區，是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發，并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案，滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。

上海納動納米位移技術有限貴公司自主研發的產品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、納米級光束偏轉鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯微位移定位系統、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高精度微位移測量系統等系列產品。