CMI900/950系列X射線熒光測厚儀是一種功能強大的材料涂/鍍層測量儀器，可應用于材料的涂/鍍層厚度、材料組成、貴金屬含量檢測等領域，為產品質量控制提供準確、快速的分析。基于Windows2000中文視窗系統的中文版SmartLink FP應用軟件包，實現了對CMI900/950主機的全面自動化控制，分析中不需要任何手動調整或手動參數設定。可同時測定zui多5層、15種元素。數據統計報告功能允許用戶自定義多媒體分析報告格式，以滿足您特定的分析報告格式要求；如在分析報告中插入數據圖表、測定位置的圖象、CAD文件等。統計功能提供數據平均值、誤差分析、zui大值、zui小值、數據變動范圍、相對偏差、UCL(控制上限)、LCL(控制下限)、CpK圖、直方圖、X-bar/R圖等多種數據分析模式。
CMI900/950系列X射線熒光測厚儀能夠測量多種幾何形狀、各種尺寸的樣品；并且測量點zui小可達0.025 x 0.051毫米。
CMI900系列采用開槽式樣品室，以方便對大面積線路板樣品的測量。它可提供五種規格的樣品臺供用戶選用，分別為：
標準樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。
擴展型標準樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。
可調高度型標準樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。
程控樣品臺：XYZ軸自動控制。
超寬程控樣品臺：XYZ軸自動控制。
CMI950系列采用開閉式樣品室，以方便測定各種形狀、各種規格的樣品。同樣，CMI950可提供四種規格的樣品臺供用戶選用，分別為：
全程控樣品臺：XYZ三軸程序控制樣品臺，可接納的樣品zui大高度為150mm，XY軸程控移動范圍為300mm x 300mm。此樣品臺可實現測定點自動編程控制。
Z軸程控樣品臺：XY軸手動控制，Z軸自動控制，可接納的樣品zui大高度為270mm。
全手動樣品臺：XYZ三軸手動控制，可接納的樣品zui大高度為356mm。
可擴展式樣品臺用于接納超大尺寸樣品。
CMI900/950主要技術規格如下：
No. 主要規格 規格描述
1 X射線激發系統 垂直上照式X射線光學系統
空冷式微聚焦型X射線管，Be窗
標準靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等
功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)－標準
75W(4-50kV，0-1.5mA)－任選
X射線管功率可編程控制
裝備有安全防射線光閘
2 濾光片程控交換系統 根據靶材，標準裝備有相應的一次X射線濾光片系統
二次X射線濾光片：3個位置程控交換，Co、Ni、Fe、V等多種材質、多種厚度的二次濾光片任選
位置傳感器保護裝置，防止樣品碰創探測器窗口
3 準直器程控交換系統 zui多可同時裝配6種規格的準直器，程序交換控制
多種規格尺寸準直器任選：
－圓形，如4、6、8、12、20 mil等
－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等
4 測量斑點尺寸 在12.7mm聚焦距離時，zui小測量斑點尺寸為：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm準直器)
在12.7mm聚焦距離時，zui大測量斑點尺寸為：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm準直器)
5 X射線探測系統 封氣正比計數器
裝備有峰漂移自動校正功能的高速信號處理電路
6 樣品室 CMI900 CMI950
－樣品室結構 開槽式樣品室 開閉式樣品室
－zui大樣品臺尺寸 610mm x 610mm 300mm x 300mm
－XY軸程控移動范圍 標準：152.4 x 177.8mm
任選：50.8mm x 152.4mm
50.4mm x 177.8mm
101.6 x 177.8mm
177.8 x 177.8mm
610mm x 610mm 300mm x 300mm
－Z軸程控移動高度 43.18mm XYZ程控時，152.4mm
XY軸手動時，269.2mm
－XYZ三軸控制方式 多種控制方式任選：XYZ三軸程序控制、XY軸手動控制和Z軸程序控制、XYZ三軸手動控制
－樣品觀察系統 高分辨、彩色、實時CCD觀察系統，標準放大倍數為30倍。50倍和100倍觀察系統任選。
激光輔助光自動對焦功能
可變焦距控制功能和固定焦距控制功能
7 計算機系統配置 IBM計算機：1.6G奔騰IV處理器，256M內存，1.44M軟驅，40G硬盤，CD-ROM，鼠標，鍵盤，17寸彩顯，56K調制解調器。惠普或愛普生彩色噴墨打印機。
8 分析應用軟件 操作系統：Windows2000中文平臺
中文分析軟件包：SmartLink FP軟件包
－測厚范圍 可測定厚度范圍：取決于您的具體應用。請告訴牛津儀器您的具體應用，我們將列表可測定的厚度范圍
－基本分析功能 無標樣檢量線測厚，可采用一點或多點標準樣品自動進行基本參數方法校正。牛津儀器將根據您的應用提供必要的校正用標準樣品。
樣品種類：鍍層、涂層、薄膜、液體(鍍液中的元素含量)
可檢測元素范圍：Ti22 – U92
可同時測定5層/15種元素/共存元素校正
組成分析時，可同時測定15種元素
多達4個樣品的光譜同時顯示和比較
元素光譜定性分析
－調整和校正功能 系統自動調整和校正功能：校正X射線管、探測器和電子線路的變化對分析結果的影響，自動消除系統漂移
譜峰計數時，峰漂移自動校正功能
譜峰死時間自動校正功能
譜峰脈沖堆積自動剔除功能
標準樣品和實測樣品間，密度校正功能
譜峰重疊剝離和峰形擬合計算
－測量自動化功能
(要求XY程控機構) 鼠標激活測量模式：“Point and Shoot”
多點自動測量模式：隨機模式、線性模式、梯度模式、掃描模式、和重復測量模式
測量位置預覽功能
激光對焦和自動對焦功能
－樣品臺程控功能
(要求XY程控機構) 設定測量點
One or Two Datumn (reference) Points on each file
測量位置預覽(圖表顯示)
－統計計算功能 平均值、標準偏差、相對標準偏差、zui大值、zui小值、數據變動范圍、數據編號、CP、CPK、控制上限圖、控制下限圖
數據分組、X-bar/R圖表
直方圖
數據庫存儲功能
－系統安全監測功能 Z軸保護傳感器
樣品室門開閉傳感器
操作系統多級密碼操作系統：操作員、分析員、工程師
－任選軟件 統計報告編輯器允許用戶自定義多媒體報告書
液體樣品分析，如鍍液中的金屬元素含量
材料鑒別和分類檢測
材料和合金元素分析
貴金屬檢測，如Au karat評價
