X射線發生系統是X射線聚光系統(聚光導管)與X射線管相結合，從而在FT9500上產生光斑直徑為Φ0.1mm以下高強度的X射線束。
在FT9500X中，我們開發了新型X射線聚光導管(單毛細管)，實現了FT最小的實際照射約為Φ30μm的高強度X光束照射。
為此，可以對以往由于X射線照射強度不足而導致無法得到理想精度的導線架、接插件、柔性線路板等微小零件及極薄鍍層進行測量。
在FT9500X中，我們開發了新型X射線聚光導管(單毛細管)，實現了FT最小的實際照射約為Φ30μm的高強度X光束照射。
為此，可以對以往由于X射線照射強度不足而導致無法得到理想精度的導線架、接插件、柔性線路板等微小零件及極薄鍍層進行測量。
高性能X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT9500系列/FT9500X系列 特長
- X射線發生系統采用了聚光導管
因為采用了X射線聚光導管方式，所以可以得到以往10倍以上的X射線強度，從而可以提高微小樣品的膜厚測量及有害物質測量的精度。 - 不需液氮的半導體檢測器
在進行薄膜測量時，高分辨率的檢測器是必*。FT9500的檢測器不但可以達到高分辨率而且可以實現高計數率。同時，由于使用了電子冷卻方式，所以無需液氮。 - Φ30μm高強度X光束照射
FT9500X作為聚光導管方式的鍍層測量儀，可進行達Φ30μm高強度X光束照射。另外，與FT9500相比，僅相當過去約10%的照射面積即可進行同等精度的測量。 - 多鍍層的厚度測量
FT9500可以同時對納米等級的電子材料上多鍍層的各層厚度進行測量，最多五層鍍層及組成。
高性能X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT9500系列/FT9500X系列 規格
| ? | FT9500系列 | FT9500X系列 |
| 測 量 元 素 | 原子序數13 (Al)～83 (Bi) | |
| X 射 線 管 | 管電壓：50kV 管電流：1mA | |
| 檢 測 器 | 半導體檢測器(無液化氮) | |
| X 射 線 聚 光 | 聚光導管方式 | |
| X射線照射尺寸 | Φ0.1mm | Φ30μm |
| 樣 品 觀 察 | CCD攝像頭(帶變焦功能) | |
| 對 焦 | 激光對焦 | |
| 一次濾波器(電動切換) | 選購項 | 有 |
| X-ray Station | 電腦 (OS: Windows) 19英寸液晶顯示屏 | |
| 打 印 機 | 噴墨打印機(選購項) | |
| 鍍層厚度測量軟件 | 薄膜FP法(5層、各層10種元素) 標準曲線法(單層、雙層、合金鍍層成分) | |
| 定量分析軟件 | 塊體FP法、塊體標準曲線法 | 無 |
| 測 量 功 能 | 自動測量、中心搜索、圖像處理 | |
| 修 正 功 能 | 底材修正、已知樣品修正 | |
| 定 性 功 能 | KLM標記功能、比較顯示 | |
| 統計處理功能 | 配備MS-EXCEL? | |
| 報告生成功能 | 配備MS-WORD? | |
| 安 全 功 能 | 樣品門聯鎖 防沖撞功能 | |
| 使 用 電 源 | 100V/15A 帶地線的3孔插座 | |
選購項
- 電鍍液分析（塊體標準曲線）
- 能譜匹配軟件（材料辨別）
- 掃描（強度面分析多點表示）軟件
