設備特點
該設備主要用于紅外杜瓦的真空處理,是無油、超高真空系統,可實現紅外杜瓦內真空獲得、烘烤除氣、工作氣體保護、氣密性檢測等制備工藝過程的控制,具有排氣速度快,極限真空度高等特點。設備廣泛應用于紅外探測、航空、航天等業及民用領域。
技術性能
1 工位數為16工位,分兩組,每組8個工位;
2 極限真空度:熱態空載狀態下真空度達到5~7×10-7Pa;
3 工位口加熱溫度80℃,8路溫度均勻性±1℃,控溫精度±1℃;
4 工位處配置充N2接口,使在卸下工件時能夠充入N2保護;
5 設有專用檢漏口,能夠滿足每次在安裝工件后進行細致氦質譜檢漏,以避免漏氣狀態下進行排氣過程。