設備特點
主要用于激光陀螺諧振腔的真空處理,是無油、雙真空系統(tǒng),可實現(xiàn)陀螺諧振腔內真空獲得、烘烤除氣、氣體充入、氣密性檢測等制備工藝手動或自動化控制,具有排氣速度快,極限真空度高等特點。設備廣泛應用于航空、航天、兵器等業(yè)及民用領域。
技術性能
1.系統(tǒng)極限真空度(含充氣部分):2×10-7Pa;
2.鐘罩極限真空度:5×10-4Pa;
3.鐘罩烘烤溫度:室溫到400℃可控可調;
4.充氣量精確控制;
5.在線氣體組分分析;
6.工件個數(shù):8/16工位可選。