TL1400雙溫區CVD系統

CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統，采用雙層殼體結構，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料。該爐安裝有行程開關，當爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者的安全。供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

TL1400雙溫區CVD系統技術參數：

1.額定溫度：1350℃                         2.溫度：1400℃

3.電壓：220V                               4.加熱段：300mm     

5.加熱元件：硅碳棒                       6.熱電偶：S型       

7.溫控方式：智能化30段可編程控制             

8.升溫速率：≤20℃/min       推薦升溫速率：≤10℃/min   

組件配置：

控溫儀表： 采用宇電程序控溫儀表

1、50段程序控溫智能PID調節。

具有過溫保護、斷偶保護，過溫或斷偶時電爐加熱電路會自動切斷，（當電爐溫度超過1620度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配）

4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

二、開門保護系統：該爐安裝有行程開關，當爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者的安全。

三、爐膛材料：采用氧化鋁纖維爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強。

四、加熱元件：采用優質發熱元件，使用壽命長。

五、漏電保護功能： 該爐裝了漏電空氣開關，當爐體漏電或電流超過額定電流時空開會自動關閉以切斷電源。

六、軟件控制系統（選購）：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。

七、控制系統：1、電器：正泰，    2、可控硅：德國西門康106/16E，   3 觸發器：移相觸發。

技術參數表（詳細技術資料請聯系業務人員，可接受定做）