TL1700雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng)，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料。該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源，有效地保證使用者的安全。供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

TL1700雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

1.額定溫度：1700℃                         2.溫度：1600℃

3.電壓：220V                               4.加熱段：300mm     

5.加熱元件：硅鉬棒                       6.熱電偶：B型       

7.溫控方式：智能化30段可編程控制             

8.升溫速率：≤20℃/min       推薦升溫速率：≤10℃/min   

組件配置：

控溫儀表： 采用宇電程序控溫儀表

1、50段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

具有過溫保護(hù)、斷偶保護(hù)，過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路會(huì)自動(dòng)切斷，（當(dāng)電爐溫度超過1620度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購軟件時(shí)標(biāo)配）

4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

二、開門保護(hù)系統(tǒng)：該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源，有效地保證使用者的安全。

三、爐膛材料：采用氧化鋁纖維爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)。

四、加熱元件：采用優(yōu)質(zhì)發(fā)熱元件，使用壽命長。

五、漏電保護(hù)功能： 該爐裝了漏電空氣開關(guān)，當(dāng)爐體漏電或電流超過額定電流時(shí)空開會(huì)自動(dòng)關(guān)閉以切斷電源。

六、軟件控制系統(tǒng)（選購）：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出。

七、控制系統(tǒng)：1、電器：正泰，    2、可控硅：德國西門康106/16E，   3 觸發(fā)器：移相觸發(fā)。

技術(shù)參數(shù)表（詳細(xì)技術(shù)資料請聯(lián)系業(yè)務(wù)人員，可接受定做）