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  • 原子層沉積系統手套箱集成系列 放心選購 技術成熟 資質齊

原子層沉積系統手套箱集成系列 放心選購 技術成熟 資質齊

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北京正通遠恒科技有限公司成立于2001年,是一家經營歐美等國*科學測試儀器和設備,并將技術引入國內的科技服務型企業。目前,公司在北京、上海、廣州、深圳、合肥、蘇州均設有辦事處。


公司用受人尊敬的、專業的方式來經營公司的業務(HONOPROF comes from our philosophy---- doing business in an HONOurable and PROFessional way)。 


公司的主營儀器包括:分子相互作用分析儀器、機器視覺儀器、表/界面分析測試儀器、界面/混凝土流變儀、薄膜沉積與表征儀器等。


公司愿景:公司愿意成為深刻了解客戶心理、全面滿足客戶需求,以應用為基礎的專業儀器設備供應商、專有技術提供商,實現公司在行業內的超常規發展。

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設備規格工藝溫度:溫度范圍:RT~500°C(可定制)前驅體路數:支持6路前驅體氣路(可定制)
原子層沉積系統手套箱集成系列 放心選購 技術成熟 資質齊 產品詳情

設備規格
工藝溫度:溫度范圍:RT~500°C (可定制)
前驅體路數:支持6路前驅體氣路(可定制),包含固、液態前驅體源瓶
加熱系統:可加熱溫度范圍:RT~150℃
反應物路數:支持2路反應物氣路(可定制)
載氣:標準:N2, MFC 流量控制(可定制)
壓力監測:雙薄膜規組合(耐腐蝕),0.005Torr - 1000Torr
本底真空度 lt;5x10-3 Torr
真空系統:標準油泵
控制系統:19寸顯示器,支持觸控工業級嵌入式工控機,高可靠性,支持擴展
操作系統:Win7 操作系統工業級可編程邏輯控制器,支持現場總線與實時多任務處理操作
高溫加熱模塊:獨立的源瓶加熱模塊,可支持RT~200℃
預留模塊:預留等離子體系統接口,無需更換腔體即可直接升級至等離子體系統(PEALD),實現Thermal-ALD與PEALD的雙模式切換

市場與應用
廣泛應用于納米材料、太陽能電池、催化、鋰電池、光學鍍膜、生物醫療、OLED等方面,可制備出高均勻性、高精度、高保形的納米級薄膜。

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