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  • PlasmaPro 100 ICPCVD

PlasmaPro 100 ICPCVD

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2023-07-19
  • 廠商性質其他
  • 所在地區上海
  • 實名認證已認證
  • 產品數量228
  • 人氣值1191
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牛津儀器科技(上海)有限公司隸屬于英國牛津儀器集團。牛津儀器1959年創建于英國牛津,是英國倫敦證交所的上市公司,為工業和科研客戶提供分析設備、半導體設備、超導磁體、超低溫設備等高科技解決方案及相關服務和支持。在六十年的發展過程中,牛津儀器公司憑借自身的科研優勢、出色的技術管理和產品服務為科技發展作出了貢獻。目前牛津儀器現已成為科學儀器領域的跨國集團公司,生產基地、銷售服務網絡和客戶遍及一百多個國家和地區。牛津儀器始終關注和支持著中國的發展,其產品于40年前就進入了中國市場,目前在上海設有銷售、研發和全國售后服務中心 ,在北京、廣州設有辦事處,旨在為廣大中國用戶提供及時、有效的服務。為了進一步支持中國科研的發展,2013年牛津儀器設立了“馬丁·伍德爵士中國獎”,迄今共十余位物理研究領域的年輕科學家獲獎。牛津儀器先后在中國多所院校設立了“明日之星獎學金”,以鼓勵在納米科學領域有創新科研成果的優秀碩士或博士生。
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This ICPCVD process module is designed to produce high quality films at low growth temperatures, enabled through high-density remote plasmas that achieves superior film quality with low substrate dama......
PlasmaPro 100 ICPCVD 產品詳情
  • 在低溫度下沉積低損傷的薄膜
  • 可沉積的典型材料包括: SiO2、Si3N4 、 SiON、Si 和 SiC,襯底溫度可低至5ºC 
  • 65mm、180mm、300mm 尺寸的ICP源 提供了工藝的均勻性
  • 晶圓尺寸高至200mm
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  • 已獲得ICPCVD氣體配送技術
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SiO2

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