MPS-4/6簡易探針臺
Mini Probe Station
型號 | MPS-4 | MPS-6 | |
臺 體 | 尺寸 | 4英寸 | 6英寸 |
水平旋轉(zhuǎn) | 可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 | ||
X-Y移動行程 | 2英寸*3英寸 | ||
X-Y移動精度 | 10微米 | ||
樣品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán) | ||
針座平臺 | 左右各一個針座平臺，多可放置6個探針座 | ||
背電極測試 | 樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極 | ||
顯 微 鏡 | 顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體視顯微鏡 | |
放大倍率 | 16X-200X | ||
移動行程 | 水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm | ||
光源 | 外置LED無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源 | ||
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 | ||
探 針 座 | X-Y-Z移動行程 | 12mm*12mm*12mm | |
移動精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 | ||
吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 | ||
探 針 夾 具 | 線纜 | 同軸線/三軸線 | |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA | ||
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 | ||
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 | ||
探 針 | 針尖直徑 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 | |
材質(zhì) | 鎢鋼/鈹銅 | ||
外形 | 400mm長*380mm寬*500mm高 | ||
重量 | 約20千克 | ||
可選附件 | 加熱臺 | 屏蔽箱 | |
顯示器 | 光學平臺 | ||
轉(zhuǎn)接頭 | 鍍金卡盤 | ||
射頻測試配件 | 光電測試配件 | ||
根據(jù)客戶要求定制 | |||
