JKZC-DM系列基礎型探針臺
產品概要
JKZC-DM系列探針臺是我司一款基于高校教育與實驗室而研發的基礎型晶圓測試探針臺。其結構緊湊，設計精密，價格實惠，配置靈活，性價比。在高等院校教學和小型實驗室科研過程中得到了廣泛運用，配合對應的儀器儀表，用于測試各類器件的IV、CV、l-t、V-t,光電信號，1/f噪聲測試，器件表征測試，RF射頻等。如 果您的測試器件pad電極大于50um。
技術特點
•整機一體化設計，結構緊湊占地小，可放置于手套箱內使用；
•自適應減震底座設計，可有效過濾環境中的震動源干擾；
• U型平臺鍍鎳設計，增大針座加載空間的同時還提高了針座平臺和針座之間的吸附力。
產品型號 | JKZC-DM4 | JKZC-DM6 | JKZC-DM8 | |
技術參數 | ||||
探針臺臺體 | 主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | 航空鋁 |
整機尺寸（mm） | 500L*380W*520H | 550L*420W*520H | 600L*480W*520H | |
重量 | 30kg | 35kg | 50kg | |
自適應減震系統 | 自適應減震底座設計，可有效過濾環境中的震動源干擾 | |||
卡盤大小 | 4英寸,360度轉動，可微調 | 6英寸,360度轉動，可微調 | 8英寸,360度轉動，可微調 | |
卡盤XY軸行程 | 4英寸*4英寸，精度10um | 6英寸*6英寸，精度10um | 6英寸*6英寸，精度10um | |
卡盤Z軸行程 | 快速升降5mm,微調升降行程6mm,精度丄微米（選件） | |||
卡盤材質 | 不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻 | |||
卡盤吸附方式 | 真空吸附，可選擇環形吸附或者多孔吸附（適用于薄片） | |||
背電極測試功能 | 卡盤鍍金，電學獨立懸空，帶2個4mm香蕉頭插口，具備背電極功能 | |||
其它功能 | 帶標準接地保護，可升級 | |||
針座平臺 | 材質 | U型平臺，Q235鍍療，帶接地端子 | ||
大小 | 最多可放置4個探針座 | 最多可放置6個探針座 | 最多可放置8個探針座 | |
顯7F系統 | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡+CCD成像系統 | ||
倍率范圍 | 16X~200X/40X~280X | |||
調焦范圍 | 50.8mm | |||
顯微鏡移動 | 顯微鏡可繞立柱360度旋轉，帶2英寸高精度顯微鏡調焦機構，帶顯示器支架 | |||
CCD成像系統 | 2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 | |||
探針座 | 種類 | 絲桿型/微分頭型/經濟型探針座 | ||
X-Y-Z行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | |||
機械精度 | 0.5um/0.7um/2um | |||
夾具 | 漏電精度 | 同軸夾具10pA/三軸夾具lOOfA | ||
接口形式 | 同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻系統/同軸/三軸加熱卡盤/顯微鏡萬向支架等 | ||
電力需求 | 220V/50HZ | |||
