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MProbe RT薄膜測厚儀

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更新時間:2021-10-27 08:09:10瀏覽次數:196次

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產品簡介

MProbe RT薄膜測厚儀

詳細介紹

薄膜測厚


該機大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

測量范圍: 1 nm -20um(UVVis),1nm-150um(UVVisNIR)

波長范圍: 200 nm -1000 nm(UVVis)

200nm-1700nm(UVVisNIR)

適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等;


藍寶石基底上1025nm厚度的氧化物薄膜的反射率和透射率,波長范圍(200-1700nm)

MProbe RT薄膜測厚儀


系統性能參數:

精度 <0.1nm or 0.01%
準確度 <0.2% or 1 nm
穩定性 <0.05nm or 0.03%
光斑直徑 標準2mm, 可以小至3um
樣品大小 大于1 mm


測量指標:薄膜厚度,光學常數

界面友好強大: 一鍵式測量和分析。

實用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測量,動態測量和產線批量處理。


技術參數:

測量范圍 1nm-50um 或1nm-150um
精度 <0.1nm or 0.01%
準確度 <0.2% or 1 nm
穩定性 <0.05nm or 0.03%
波長范圍 200-1000nm 或 200-1700nm
光譜儀和檢測器 F4光譜儀,3600像素CCD檢測器,16位深
F3光譜儀,512像素InGaAs 檢測器
光譜分辨率 2nm(UVVis),4nm(NIR)
光源 20W鹵鎢燈(添加氙),色溫3100,壽命:2000小時


MProbe RT薄膜測厚儀

(內部結構示意圖)


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關鍵詞:標準 光譜儀
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