20 世紀 60 年代初期，科學家已發現金屬氧化物半導體（MOX）薄膜能夠用 于氣體濃度傳感。直到 70 年代初期，日本費加羅公司創始人 Taguchi 發明了世 界上第一個可以進入實際應用的 SnO2 薄膜半導體氣體傳感器，用于檢測低濃度 的可燃性或者還原性氣體，并命名為 TGS（Taguchi Gas Sensor）。
此后，各種不同的金屬氧化物半導體材料被開發出來，氣敏元件制作工藝也 從手工涂覆發展到厚膜印刷、MEMS 工藝等，實現了氣體傳感器的小型化、低 功耗和大批量制造，產品一致性得到很大提高。半導體氣體傳感器以往主要應用 于報警器；隨著 MEMS 技術的發展以及敏感材料性能的進一步提高，目前 基于 MEMS 工藝制備的 MOX 技術 VOC 氣體傳感器及空氣品質氣體傳感器 （AQS：用于測量 CO、NO2、NH3 等）已經廣泛應用于空氣凈化器、暖通空調 （HVAC）以及汽車空氣循環控制等領域。
在 20 世紀 60 年代中期，針對半導體氣體傳感器存在選擇性和穩定性不理想 的問題，熱催化氣體傳感器得到快速發展，并成為可燃氣體監測特別是煤礦瓦斯 監測的重要選擇。此后主要氣體傳感器廠家都開始生產熱催化原理的可燃氣體傳 感器。我國是世界上主要的煤炭生產國，國家在多個五年計劃中都提出對高性能 的催化燃燒氣體傳感器進行科技攻關,使得我國成為催化燃燒氣體傳感器主要研 發、生產和銷售國家，技術水平和產品性能與水平相當。該類體傳感器需要 依托足夠氧氣進行催化燃燒，因此在無氧環境下可能無法檢測任何可燃性氣體。同時，某些含鉛化合物、硫化合物、硅烷、磷化合物、鹵代烴等參與催化燃燒反 應后可能造成氣體傳感器中毒失效。
工業過程釋放出大量低濃度的有毒、有害氣體，如 CO、H2S 等，半導體及 催化燃燒氣體傳感器無法對其準確測量和報警，而具有良好選擇性和高靈敏度的 電化學氣體傳感器則可以實現上述目的。以往電化學氣體傳感器需要使用比較昂 貴的金屬作為催化劑，且使用壽命有限，一般不超過兩年。近年來可印刷的長壽 命電化學氣體傳感器問世，具備更小體積和更長壽命。
英國和德國是上電化學氣體傳感器的主要生產國家，其中英國以劍橋大 學為中心形成了諸多電化學氣體傳感器公司。目前，我國已經成為上電化學 氣體傳感器的主要市場，自主品牌電化學氣體傳感器企業也不斷涌現，技術水平 持續提高，初步具備了與品牌進行市場競爭的能力。
隨著建筑節能的發展，新風系統需要根據 CO2 含量進行準確的新風控制， 用于保證建筑的舒適性和經濟性，從而對低成本、高可靠性的 CO2 氣體傳感器 提出市場需求。隨著熱電堆、熱釋電原理紅外探測器實現批量生產，紅外 CO2 氣體傳感器的生產成本大幅下降并得以快速普及。同時，針對催化燃燒氣體傳感 器測量可燃氣的缺點，采用紅外技術的微型甲烷、丙烷氣體傳感器應運而生，且 具有精度高、壽命長、不需要氧氣參與的優勢，可在部分應用領域快速替代催化 燃燒氣體傳感器。
近年來，隨著霧霾問題的出現，空氣凈化器市場快速發展，粉塵傳感器需求 持續增長。國內公司在激光粒子計數器技術基礎上快速開發出低成本的、可顯示 濃度數值的光學粉塵傳感器。目前，國產光學粉塵傳感器特別是激光粉塵傳感器 占據了主要*。
