本科生微電子器件及材料實驗目的

通過實驗動手操作，加深對半導體物理理論知識的理解，掌握半導體材料和不同器件性能的表征方法及基本實驗技能，培養分析問題和解決問題的能力。

本科生微電子器件及材料實驗目錄
實驗一：金屬-氧化物-半導體場效應晶體管特性IV特性測試實驗
實驗二：四探針法測量半導體電阻率測試實驗
實驗三：        MOS電容的CV特性測試實驗
實驗四：半導體霍爾效應測試實驗實驗
實驗五：激光二極管LD的LIV特性測試實驗
實驗六：太陽能電池的特性表征實驗

本科生微電子器件及材料實驗測試平臺優勢

滿足本科生基礎教學實驗中微電子器件和材料測試需求
測試設備簡單易用，專業全威，方便學生動手操作
核心設備測試精度高，滿足新材料和新器件的指標要求
測試軟件功能齊全，平臺化設計，有專人維護支持，與專業測試軟件使用相同架構
以基礎平臺為起點，可逐步升級，滿足日益增加的實驗室測試需求

本科生微電子器件及材料實驗測試平臺基本功能

本科生微電子器件及材料實驗測試平臺核心

測試平臺的核心– 源測量單元（源表， SMU）

普賽斯國產源表四表合一 四象限模式
四線/開爾文測試功能
小信號測試
滿足先進器件和材料測試需求

交流測試使用LCR表

探針臺：4寸或6寸手動探針臺