孚光精儀（中國）有限公司
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這套超快激光非晶硅激光刻膜機是特別為太陽能產業光伏工業而設計的整套飛秒激光刻膜機系統
這套超快激光非晶硅激光刻膜機是特別為太陽能產業光伏工業而設計的整套飛秒激光刻膜機系統。可用于光伏電池激光加工,激光去除氮化硅膜,氮化硅膜激光蝕刻,晶圓邊緣隔離，有可以當作激光刻膜機,激光劃片機使用。
這套非晶硅電池激光刻膜機采用*的紫外飛秒激光和紅外納秒激光，可以同時提供如下四合一服務：
— SiNx/SiO2去除,
去除二氧化硅,去除氮化硅
邊緣隔離晶圓
背接觸激光燒結和激光刻槽
激光打標
其中紫外飛秒激光用于SiNx/SiO2的選擇性燒蝕或切除(氮化硅膜蝕刻),配備的紫外飛秒激光可以非常精密地剝蝕SiNx(去除氮化硅膜),同時在Si層的直接或熱效應降從而增加載流子壽命（少子壽命）,避免微裂紋。而配備的1064nm的納秒激光工作非常穩定而快速，將用于晶片的快速激光邊緣隔離，激光打標和激光燒結。
該非晶硅激光刻膜機配備自動處理和掃描系統，支持5’’和6’’直徑的硅晶片加工。同時配備機械視覺系統以隨時調節激光束掃描,保持高度重復性和可靠性。
該非晶硅電池激光刻膜機配1級激光安裝防護裝置和灰塵消除系統，營造無塵加工環境，以保證飛秒激光的精密燒蝕和熱效應影響的最小化。
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