激光故障注入系統是為集成電路安全性評估設計的高精度laser fault injection系統和激光故障注入顯微鏡,方便對集成電路進行激光故障注入測試分析。
激光故障注入系統可把激光點聚焦到芯片上,從后側掃描樣品,進而評估電子元器件的安全水平。
激光故障注入系統具有1微米的激光點精度
該系統集成的激光器經過特殊光路設計后，最小激光點可達1微米,透過率可達90%，PDM激光源（Pulse-On-Demａnd Module）可達極小的圓形光點，可精確聚焦到電子元器件的有效面積上。這套激光故障注入系統還可以根據用戶要求，配備高分辨率XYZ三維位移臺,支持樣品掃描精度可達50nm.
激光故障注入系統采樣高精度激光器
該系統采樣的激光器具有超高時序控制精度，時間抖動<8皮秒,對于激光注入到電路板上的同步控制非常重要。這種激光器還可以根據實驗需要提供1ns脈沖到連續波激光的變化,從單次發射脈沖到250MHZ的重復頻率。根據不同的硅片或電路樣品，我們可提供980nm 或1064nm波長激光器，激光功率2W·10W。
激光故障注入系統具有高質量紅外視圖
該系統具有高質量紅外光和紅外成像功能,配備高分辨率IR紅外相機,獲得高質量的芯片圖片，甚至可傳統數百微米的硅片成像，還能同時看到在樣品上移動的激光點。
激光故障注入系統具有多種鏡頭可選擇
該系統可配備多種鏡頭，提供不同的焦距和光學圖片質量，高數值孔徑的鏡頭提供更高分辨率和透過率。可提供手動的4鏡頭位置轉塔和電控的5鏡頭位置轉塔，可選擇50X鏡頭獲得最小激光斑點，也可選擇2.5X鏡頭獲得較大的激光斑點。
激光故障注入系統是交鑰匙系統
該系統經過系統設計，到貨即可實驗。我們還可以根據用戶應用訂制該系統，我們還可以提供光電發射Photoemission和熱激光刺激thermal laser simulation功能集成。
激光故障注入系統特點
可透過硅和激光斑點同時觀察
空間分辨率高達1微米
可提供980nm激光或1064nm激光
激光脈寬可從亞納秒到連續波供用戶選擇
時序精度高達<8ps
重復頻率高達250MHZ
透過率高達92%
同軸紅外IR視圖功能
自動掃描XYZ電控位移臺
芯片的背部紅外視圖和激光斑點
激光故障注入系統規格參數
激光器部分參數
脈寬：1.5ns 到連續波
峰值功率：3.2W （可選10W)
激光波長：980nm或1064nm
重復頻率：單發射到250MHZ
控制命令接口：TTL/LVTTL
光束質量：單模
透過率：>92%
視圖觀察部分
視圖：高分辨率紅外相機640x512um, 140dB動態范圍
定位臺部分
軸數：XYZ三軸
行程：52mm
分辨率：0.315um
重復精度：+/-0.8um
速度：20mm/s
物鏡部分
2.5X, 20X,50X
