高精度電動XY線性平移臺是一款高精度直接驅動線性位移臺,采用光學編碼器和3相無鐵直線無刷伺服電機確保了平移臺高精度,高可靠性和低磨損,零反沖backlash。
高精度電動XY線性平移臺采用線性旋轉非接觸式編碼器作為反饋系統,確保了非直接控制定位,精度高達壓納米分辨率。
高精度電動XY線性平移臺采用自然時效鋁合金確保高溫穩定性和柔軟性,以及良好的長周期運動學特性,做到導向系統無漂移。特殊的導軌帶有滾珠軸承確保該平移臺且經久耐用。
高精度電動XY線性平移臺標準品可以用于真空度達到10^-3Torr的真空環境，并可提供適用更高真空度的產品,也可根據用戶要求提供更高潔凈度的產品。
高精度電動XY線性平移臺可以很快連接到光學平臺上,可直接搭建成電動XY二維平移臺系統,并具有良好的正交特性。
對于工業應用,電動XY線性平移臺即可安裝到各種光學平臺，也可以安裝到高平整度大理石龍門架上,保證高精度位移和平移定位應用。
高精度電動XY線性平移臺特點
直接驅動電機技術
零反沖backlash
高分辨率非接觸式光學編碼器
超低剖面,線性電機
高精度線性導向系統帶有交叉滾珠軸承,具有抗蠕動性能
容易集成到公制或英制學機械中
默認正交性能高≤5arcsec
高精度電動XY線性平移臺規格參數
| 軸數 | XY二軸二維系統 |
| 行程范圍 | 120x120mm |
| 編碼器類型 | 光學編碼器 |
| 編碼器型號 | Len1 |
| 編碼器分辨率 | 25nm-5um任意,根據用戶要求制定 |
| 編碼器接口 | 差分RS422 |
| 放大系數 | N/A |
| 編碼器光柵周期, | 72mdeg |
| 參考標記 (Index) | Yes,4-200根據用戶要求定制 |
| 精度2) |
| 標定前 | ±4µm |
| 標定后 | < ±0.5µm |
| 單向重復精度 | N/A |
| 雙項重復精度（peak-peak)2) | 優于±0.15µm |
| 雙項重復精度(RMS) 2) | ±0.1µm |
| Pitch 3) | ±30 / ±6.2µrad/arcsec |
| Yaw 3) | ±30 / ±6.2µrad / arcsec |
| Roll | N/A |
| 速度 (負載4kg) 4) | <1000mm/s |
| 加速度 ((負載4kg) 5) | <20000mm/s^2 |
| 安全限位開關 (Safety) | Optical (Optrons) |
| 安全限位開關極性 | Pushed is closed |
| 限位開關電壓 | 5…24V |
| 負載導向信息 |
| 導向類型 | 線性電機，平面類型位移臺 |
| 電機類型 | LM3 |
| 電機設計類型 | Internal Rotor BLDC Motors (3 phase) |
| Bus Voltage | >300VDC |
| 負載 (中心放置) 6) |
| 水平 | 30kg |
| 運動質量 7) | X軸3kg,Y軸8.5kg |
| 導向系統 | 交叉滾珠軸承帶有籠式飄逸保護 |
| 材料和外殼信息 |
| 外部材料 | 鋁合金 |
| 外殼處理 | 黑色陽極氧化 |
| 環境壓力 | 標準大氣壓 |
| 工作溫度 | 20±2°C |
| 控制器 |
| 推薦控制器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦驅動器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦電源 9) | Request upport |
| 推薦通訊接口 12) | EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP |
| 線纜長度 | 2m |
| 差分輸出 10) | On request |
| 配件 |
| 底板 | 不需要 |
| XY二維平移臺系統搭建 | 直接搭建,需要安裝適配板 |
| Z軸豎直平移臺搭建 | 可以 |
| 外形尺寸 |
| 移動臺尺寸 (W x L) | 240 x 240mm |
| 外形尺寸 (W x L x H) | 240 x 360 x 75mm |
| 公制或英制 | 公制 / 英制均可提供 |
| XY二維平移臺正交性 11) | 24/5 µrad/arcsec |
| 防護處理 13) | 基本處理 |
| RoHS | 滿足 |
| 重量 | 12.5kg |
1) 默認為x4轉PPR-脈沖數/每轉，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關儀器測試,電子自相關儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅動器CUT-OF頻率以及導向系統限制.
5)加速度由驅動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負載能力由導向系統決定.
7) 運動質量是系統常數m0,通常是沒有負載時的慣性。
8) 推薦的控制器和驅動器有助于發揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據用戶的占空比和負載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 可組成正交性能更好的XY二維電動位移臺系統.
12) 標量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴重或濕度較大的環境。
