納米定位壓電柔性鉸鏈平臺將亞納米級分辨率和導向精度以zui小串擾相結合。這使得其特別適用于計量學中的應用、超高分辨率顯微鏡、干涉測量或半導體芯片生產的檢測系統。壓電陶瓷柔性鉸鏈平臺可用于毫秒穩定精密定位和動態掃描，頻率高達幾百赫茲，多達六自由度。
納米定位壓電柔性鉸鏈平臺應用領域
光纖對準
顯微鏡應用
雙光子聚合
納米技術和納米制造
特點：
并聯運動設計可在所有空間方向上實現zui高剛性
即使負載高達100克，高諧振頻率也能實現高動態運動
單個安裝平臺的創新型產品設計可實現靈活使用
市場上*的帶ID芯片功能的納米定位器
市場上行程為100微米的zui小、zui輕的NanoCube
技術參數：
| 運動和定位 |
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主動軸 | X、Y、Z |
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開環行程，-20至120伏 | 110/軸 | 微米 | +20 % / -0 % |
閉環行程 | 100/軸 | 微米 | +20 % / -0 % |
分辨率，1秒，開環* | 0.3 | 納米 | 典型值 |
分辨率，1秒，閉環* | 0.4 | 納米 | 典型值 |
線性誤差，全行程范圍內，帶數字控制器(E-727.3CD) | 0.03 | % | 典型值 |
雙向重復精度，1秒，10%行程范圍內 | <10 | 納米 | 典型值 |
雙向重復精度，1秒，行程范圍內 | <15 | 納米 | 典型值 |
