閉環(huán)三維納米定位臺(tái)是專業(yè)為納米級(jí)別定位位移應(yīng)用設(shè)計(jì)的納米定位平臺(tái)和納米定位臺(tái)系統(tǒng),分辨率高達(dá)50nm,位移行程范圍100mm，并具有零反沖的特性。
閉環(huán)三維納米定位臺(tái)上海廠家產(chǎn)品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號(hào);
3.采用數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;
4.采用計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)結(jié)構(gòu)；
5.采用*的表面處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力；
6.超高性能的開/閉環(huán)掃描平臺(tái)。
閉環(huán)三維納米定位臺(tái)上海廠家產(chǎn)品規(guī)格
移動(dòng)距離 100mm
低摩擦力
直線度 5µ
剛度 100 N /µ
分辨率 50 nm
速度 0.001-150 mm/s
重復(fù)性 0.1µ
負(fù)載 3kg
應(yīng)用
• 光纖端面檢測(cè) • 納米壓印 • 納米計(jì)量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù) •質(zhì)量保證測(cè)試 •微加工/精密控制
上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司（簡稱“納動(dòng)納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動(dòng)、精密傳感、精密控制、精密測(cè)量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測(cè)量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國內(nèi)外市場(chǎng)對(duì)超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動(dòng)器、納米級(jí)精密定位臺(tái)/掃描臺(tái)、壓電納米定位平移臺(tái)/升降臺(tái)/偏擺臺(tái)/旋轉(zhuǎn)臺(tái)、納米級(jí)光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級(jí)顯微掃描平臺(tái)、納米級(jí)物鏡聚焦/掃描器、納米級(jí)紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動(dòng)器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺(tái)、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)/控制器、高精度微位移測(cè)量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。
