單軸壓電納米定位臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了平臺具有的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。平臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。平臺特點體積小、結構緊湊、易于集成。
單軸壓電納米定位臺主要應用:
航天航空
顯微與成像
醫療技術
納米技術
數據存儲技術
圖像處理
測量/檢測
生物科學與生命科學
集成光學
激光加工與激光光刻
半導體技術
超精密加工
產品特點:
◆ 采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統,有效消除側向運動分量;
◆ 內置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;
◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。
技術參數:
上海納動納米位移技術有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術開發區,是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發,并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案,滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。
上海納動納米位移技術有限貴公司自主研發的產品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、納米級光束偏轉鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯微位移定位系統、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高精度微位移測量系統等系列產品。