武漢8英寸/12英寸探針臺技術參數是一種用于半導體、材料科學等領域的精密測試儀器，主要用于對半導體晶圓、芯片、材料樣品等進行電氣性能測試和分析。
武漢8英寸/12英寸探針臺技術參數
臺體
Chuck尺寸：8英寸 12英寸
快速抽拉：行程-110mm 行程-150mm
水平旋轉：可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
X-Y氣浮移動：可360℃氣浮移動，便于快速定位樣品
X-Y移動行程：8英寸*8英寸 12英寸*12英寸
X-Y移動精度：1um/2um
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環
針座平臺：最多可放置8個探針座或12個探針座
平臺升降：可快速升降6mm/可微調升降25mm
背電極測試：樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極
顯微鏡
顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率：16X-100X/20X-4000X
移動行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm（Z軸可選氣動升降，全面快速進行物鏡切換）
光源：外置LED環形光源/同軸光源
CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素
探針座
X-Y-Z移動行程：12mm*12mm*12mm
移動精度：10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um
吸附方式：磁力吸附/真空吸附
DC調節點測角度：0-30℃
RF調節角度：多點控頭調水平旋鈕，可以+-10℃調節，精度0.1度
探針夾具
線纜：同軸線/三軸線/射頻線/開爾文線
漏電精度：10pA/100fA/10fA
固定探針：彈簧固定/管狀固定
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口
DC針尖直徑：0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RF探針頻率：40GHz/50GHz/67GHz/110GHz
材質：鎢鋼/鈹銅/鍍鎳
外形：900mm*700mm*900mm /950mm長 *700mm寬*700mm高
重量：約150千克/180千克
可選附件（根據客戶要求定制）
加熱臺
顯示器
轉接頭
射頻測試配件
屏蔽箱
防震桌
鍍金卡盤
光電測試配件
