真空高低溫探針臺：

1． 產品名稱：真空探針臺

2． 產品型號：KT-Z1604T-RL

3． 產品品牌：鄭科探  Zhengketan

4． 生產廠家：鄭州科探儀器設備有限公司

功能要求

KT-Z160T-RL該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面，臺面可升溫到400℃。低溫-190°C。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－20mm；z方向調節范圍：0－20mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。

真空高低溫探針臺：主要技術要求

1． 腔體材質：304不銹鋼

2． 上蓋開啟：鉸鏈側開

3． 加熱臺材質：304不銹鋼

4． 內腔體尺寸：φ160x90mm

5． 觀察窗尺寸：Φ70mm

6． 加熱臺尺寸：φ55×55mm

7． 觀察窗熱臺間距：75mm

8． 加熱臺溫度： -190-400℃

9． 加熱臺溫控誤差： ±1℃

10． 真空度： 機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

11． 允許正壓： ≤0.1MPa

12． 真空抽氣口： KF25真空法蘭

13． 氣體進氣口： 3mm-6mm卡套接頭

14． 電信號接頭： SMA轉BNC X 4

15． 電學性能： 絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V  漏電流 ≤-10次方安培

16． 探針數量： 4探針

17． 探針材質： 鍍金鎢針

18． 探針尖： 10μm

19． X軸移動行程： 30mm    ±15mm

20． X軸控制精度：≤0.01mm

21． Y軸移動行程：13mm    ±12.5mm

22． Y軸控制精度：≤0.01mm

23． Z軸移動行程：13mm    ±12.5mm

24． Z軸控制精度：≤0.01mm

25． 顯微鏡類別：物鏡

26． 物鏡倍數：0.7-4.5倍

27． 工作間距：90mm

28． 相機：sony 高清

29． 像素：1920※1080像素

30． 圖像接口：VGA

31． LED可調光源：有

32． 顯示屏：8寸

33． 放大倍數：19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm

四：主要配置

  1．1臺 · 真空探針臺KT-Z1604T-RL

  2．1臺 · 工業CCD

  3.  1臺 · 真空泵-8

  4.  1個 · PG800真空計

  5.  1臺 · 液氮泵