碳質探頭傳感器(高濃度型)監測儀 HE-960HC
碳質探頭傳感器(高濃度型)監測儀 HE-960HC適用于半導體和FPD生產制程中化學藥液和廢液的管理碳質探頭傳感器(高濃度型)監測儀 HE-960HC測量電導率可作為基于化學藥液和廢水管理的參數。其對偶電路和軟件與4-極式炭質傳感器相結合測量范圍可達0至1000mS/cm而無需切換。由于具有兩種濃度轉換功能，所以可將其作為過程濃度計使用，也可監測特定化學藥液中的濃度變化。
碳質探頭傳感器(高濃度型)監測儀 HE-960HC特征
- 大量程適用
zui高可測量至1000 mS/cm（溫度補償前的電導率量程）
- 自動顯示范圍切換
從高至低濃度顯示范圍自動切換。當維持有效的電導率分辨率是也可使用該產監測變化。
- 具有各種溫度補償
由于可自由設定標準溫度和溫度補償 ，溫度補償可被應用于對應液體。
- 濃度轉換功能
輸入溫度系數和濃度與電導率的關系，可進行兩種濃度轉換。
- 通訊功能 (RS-485) 為標準配置
可遠程控制主機，例如：變更設定或檢查測量值
- 耐藥性4-極炭質傳感器
采用了新型的使用高耐藥性玻璃碳材料的FES-510系列4-極式流通型傳感器?？蓽y量使用于半導體清洗和其它制程中多種化學藥液的大范圍電導率。準確監測TMAH（羥化四甲銨），一種在半導體制程中光刻工藝時使用到的顯影液的主要成分。
重復性：± 0.003%
測量范圍：0-3%
耐化學藥品的碳極傳感器
