SC-2濃度計監測儀 CS-152
SC-2濃度計監測儀 CS-152高精度化學藥液濃度計專為半導體制造時清洗制程中所使用的SC-1溶液而設計。實現了過去所沒有的高速響應性和小巧化，可用于監測清除金屬離子時所使用的SC-2溶液(HCl/H2O2/H2O)中的各成分濃度。依據濃度計的輸出而進行的反饋控制，可以確保SC-1溶液的濃度保持在允許范圍內，同時，還可以避免不必要的藥液更換工作。由于測量周期短，可以精確地跟蹤濃度變化，小巧化設易于組裝到清洗裝置中。
特征
?監測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理。
實現了以大約3秒這樣短的測量周期，大幅提高了濃度的實時跟蹤性。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。
?通過采取全面的氣泡對策，可監測高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡，在監測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監測單元內的發生次數抑制在zui低限度。并且，如果是冷卻器一體型產品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計。溫度補償將自動進行。
?采用DC24V，實現高安全性
電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發生。并且，由于內置漏水傳感器，在發生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應等，采取緊急措施。
