氫氟酸濃度計監測儀CM-200A/210A
氫氟酸濃度計監測儀CM-200A/210A為監測半導體制造工藝中氫氟酸濃度而開發出來的高精度氫氟酸濃度計。該設備通過采用電磁感應導電率計測量并實時顯示氫氟酸濃度。廣泛適用于各個使用氫氟酸的制造工藝。
特征：
實時顯示氫氟酸濃度
可以通過導電率傳感器檢測氫氟酸濃度，通過<導電率>-<氟酸濃度>的檢量線，自動地實時顯示氟酸濃度。
實現了半導體制造工藝中低濃度范圍的高精度
產品幾乎覆蓋了半導體制造工藝中所使用的氫氟酸溶液的全部量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低濃度量程中，也實現了±2%F.S.以內的再現精度。適合于要求低濃度范圍控制的存儲器生產線中發揮出威力。
確保穩定檢測的傳感器
沉浸型傳感器已經*被PFA樹脂模塊化，所以不會因氫氟酸溶液而發生金屬腐蝕現象。并且，金屬等不純物不會溶入到樣品溶液中，因此可以對其進行穩定的檢測。
氫氟酸濃度計監測儀CM-200A/210A裝有報警功能
為了實現更加可靠的工藝管理，分別具有濃度輸出以及濃度上限?濃度上上限?濃度下限?濃度下下限的報警輸出功能。
可以用于多用途
采用小巧的DIN96尺寸的轉換器。小型?輕便，zui適于組裝到氟酸的稀釋裝置、供給裝置、晶片的清洗裝置中。并且，具有直接浸沒到液體中的沉浸型傳感器(CM-200)和設置在工藝配管中的流通形傳感器(CM-210)。您可以根據用途自由選擇。
