企業概要

Company Profile

總部	堀場制作所 HORIBA, Ltd.
董事會成員	集團會長兼 CEO　堀場厚
	副會長兼集團 COO　齊藤壽一
	董事長兼 COO　足立正之
創立	1945年 10月17日
成立	1953年 1月26日
總部	601-8510 京都市南區吉祥院宮之東町2番地
注冊資本	120.11 億日元 (截至2020年12月31日)
綜合凈銷售額	1870.8 億日元 (至2020年12月31日)　» 投資者相關頁面
員工數量	8,269 (截至2020年12月31日)
業務范圍	生產和銷售汽車排放測量系統、環境測量儀器、種類齊全的科學分析儀、體外診斷分析儀和半導體行業使用的測量設備等。HORIBA還生產和銷售外圍測量與分析設備。此外，公司還可為實驗室等機構提供用于研發、生產和其他應用的測量與分析設備
結算日	12月31日
上市	東京證券交易所第1部
日本分部	京都總部、滋賀、東京、宮城、櫪木、茨城、神奈川、靜岡、愛知、大阪、香川、廣島、福岡、熊本
海外分部	奧地利、巴西、加拿大、中國、法國、德國、印度、印度尼西亞、意大利、日本、韓國、波蘭、俄羅斯、新加坡、中國臺灣、泰國、英國、美國、越南

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在比利時、捷克、荷蘭、葡萄牙、俄羅斯、西班牙、瑞典和越南設立分公司
截至2020年12月31日

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產品簡介在線詢價

半導體工廠對高效和功能性有很高的要求,而Horiba PD系列正因良好的操作性及*的穩定性享有盛譽。光掩模（Reticle/Mask）顆粒探測系統 PR-PD2HR的傳輸系統在長時間的操作中可以保持傳輸穩定，性能優異，輸出良好的特點，而現在PR-PD2HR又可實現低至0.35µm的信號檢測。

光掩模（Reticle/Mask）顆粒探測系統 PR-PD2HR-顆粒物監測儀射線顆粒物監測儀產品詳情

光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測系統 PR-PD2HR

光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測系統 PR-PD2HR半導體工廠對高效和功能性有很高的要求,而Horiba PD系列正因良好的操作性及*的穩定性享有盛譽。光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測系統 PR-PD2HR的傳輸系統在長時間的操作中可以保持傳輸穩定，性能優異，輸出良好的特點，而現在光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測系統 PR-PD2HR又可實現低至0.35µm的信號檢測。

可適配任意一種Stepper盒的PR-PD2HR可處理多至10個卡夾，也支持多種通訊協議。作為PD系列的一員，本設備提供高功能性對應多種Reticle和掩模版顆粒物監測任務，同時也可在高速輸出的條件下進行Glass面及Pellicle面的監測。PR-PD2HR可對半導體工廠的產量提高作出貢獻。

可檢測的Pattern上的超微顆粒的尺寸可小至0.35µm 。Reticle直徑1.0µm、線寬小至1.0µm的情況下，也可減少監測錯誤到zui小程度。通過*的光學處理方式減少檢測錯誤Horiba*的信號處理可有效抑制低至1.0µm/1.0µmL&S級別的誤檢。通過可以有效鑒別Pattern的低通過濾器進一步將錯檢降至zui小程度。而這在高密度Pattern中降低誤檢率是非常有效的。

關鍵詞：過濾器

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