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超精密自由曲面三坐標測量機

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2025-02-12
  • 廠商性質其他
  • 所在地區北京市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量56
  • 人氣值678
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ISARA400是一臺多探針3D坐標測量機,能夠實現對大口徑和復雜工件( 自由曲面) 的納米級測量。借助的探針技術,ISARA400還可以測量工件的幾何形狀,包括平面、孔類及曲面等,并且擁有其它傳統坐標測量機的精度。
超精密自由曲面三坐標測量機 產品詳情
產品特性

 ◆ 以納米級分辨率,3D測量復雜表面與自由曲面光學器件的度量工具

 ◆ 在所有三個方向上的測量不確定度均低至50 nm(1D)

 ◆ 與同類三坐標測量機相比,測量范圍顯著增加到400 x 400 x 100 mm

 ◆ 將參考光學表面轉化為機械參考的能力

 ◆ 可追溯的測量

 ◆ 多探針儀器,通過運動型探針支架實現

 ◆ 所有導軌均帶有多孔介質空氣軸承,可實現平穩、無摩擦的運動,是3D掃描測量的理想之選


IBS.png

應用范圍

 ◆ 大口徑光學元件面形測量

 ◆ 幾何形貌測量

 ◆ 自由曲面光學點陣測量

 ◆ 陣列小工件測量

 ◆ ( 超) 半球的面形測量

 ◆ 非球面鏡和模型的掃描測量


性能參數
測量系統

激光干涉測量分辨率

(X, Y 與Z)

1.6 nm
1D 測量不確定度

(如:單方向一維測量)

X 軸Y 軸Z 軸
52nm49nm57nm
2D 測量不確定度

(如:二維輪廓測量)

XZ 軸YZ 軸XY 軸
72nm70nm 71nm
3D 測量不確定度

(如:三維自由曲面測量)

109nm
測量范圍(XYZ)400mmX400mmX100mm


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