常規屬性
系統描述：對振動不敏感的泰曼格林型動態相移干涉儀
采集模式：采用相位相關探測器的瞬時相移式
核心技術：空間相移干涉技術（PSI）
光源：穩頻HeNe@632.8nm；可選532nm, 1053nm或1064nm
相干長度：>100 m
光束直徑：7 mm
偏振態：圓偏光
相機像素：2000×2000pixels， 12bit
外形尺寸：測量頭：<18.0×16.2×9.1cm
激光器：48.3×20.3×11.9cm
系統性能
采集速率：>10幀/秒 顯示；4副干涉圖/幀
>12幀/秒 數據采集帶后數據處理
最小曝光時間：35微秒
樣品反射率：1-99% （無需衰減）
RMS重復性：<0.001wave
RMS精度：<0.002wave
配置選項
擴束器：Φ50mm, Φ100mm, Φ300mm
球面擴束鏡頭：F/1 to F/32；可定制 F/35, F/40, F/50
球面反射參考鏡：NA0.06，NA0.1，NA0.4， NA0.7
