常規(guī)屬性
系統(tǒng)描述：對振動不敏感的泰曼格林型動態(tài)相移干涉儀
采集模式：采用相位相關(guān)探測器的瞬時相移式
核心技術(shù)：相移干涉技術(shù)（PSI）
光源：穩(wěn)頻HeNe@632.8nm；可選波長 532nm
相干長度：>100m
光束直徑：7mm
偏振態(tài)：圓偏光
相機像素：2000×2000pixels， 12bit
外形尺寸：測量頭：<38.9 x 15.7 x 9.1 cm
激光器： 58.9 x 24.1 x 14.0 cm
重量： 測量頭：< 4.5 kg
激光器：< 12.5 kg
系統(tǒng)性能
采集速率：>10幀/秒 （實時顯示）
>15幀/秒 (后處理）
最小曝光時間：35微秒
樣品反射率：1-99% （無需衰減）
RMS重復性：<0.001wave*
RMS精度：<0.002wave**
*采用10個數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果；每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均
**采用10個數(shù)據(jù)，每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均；以這10個數(shù)據(jù)的平均值作為參考值；以每一個數(shù)據(jù)與參考值的差來計算RMS平均作為結(jié)果
配置選項
擴束器：Φ50mm, Φ100mm，Φ300mm
球面擴束鏡頭：F/1 to F/32；可定制 F/35, F/40, F/50
反射參考鏡： NA0.06， NA0.1， NA0.4， NA0.7
