常規(guī)屬性
系統(tǒng)描述：對振動不敏感的動態(tài)表面輪廓儀
采集模式：采用相位相關(guān)探測器的瞬時相移式
核心技術(shù)：相移干涉技術(shù)（PSI）
光源：460nm LED
相機像素：1.6MP, 12-bit
外形尺寸：24 cm × 24 cm × 8 cm
重量：4.6 kg
系統(tǒng)性能
最小曝光時間：<100µsec
垂直測量范圍：115nm step
RMS重復(fù)性：<0.005nm
RMS精度：<0.1nm
配置選項
物鏡 ：可選0.9X，2X，5X，10X，20X，50X（相見列表）
三腳架：可選操縱桿控制的三腳架，帶傾斜/俯仰/垂直調(diào)節(jié)
校準鏡：超光滑參考鏡
加長線纜：5m或10m
長工作距離干涉物鏡
放大倍率 | 0.9X | 2.0X | 5X | 10X | 20X | 50X |
數(shù)值孔徑 | 0.026 | 0.055 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.8 |
工作距離（mm） | 15.0 | 23.0 | 23.0 | 17.0 | 0.51 | 0.29 |
460nm處的分辨率（um） | 8.8 | 4.2 | 1.5 | 0.77 | 0.51 | 0.29 |
空間采樣（um） | 8.2 | 3.7 | 1.5 | 0.74 | 0.37 | 0.15 |
視場角（mm） | 9.9 | 4.4 | 1.8 | 0.90 | 0.44 | 0.18 |
