μPhase® PLANO DOWN - 適用于平面樣品的緊湊型干涉儀
這些結(jié)構(gòu)緊湊、穩(wěn)定并具有成本效益的μPhase PLANO DOWN干涉儀適用于實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)中，憑借大量的花崗巖基座，它們不需要外部振動(dòng)控制，即使對于經(jīng)常變化的樣品類型，對準(zhǔn)亦可以輕松處理，樣品放置在儀器的底部，從頂部測量。 
主要特征
*檢測不同的平面光學(xué)零件；
*直觀簡便的操作，即便是不熟練的員工也能操作；
*檢測范圍：可達(dá)150mm；
*占地面積小；
*無需隔振；
μShapeTM干涉儀軟件
| 每個(gè)版本的μPhase干涉儀都提供了一個(gè)應(yīng)用的μShape軟件版本，它應(yīng)用于測量平面、球面、圓柱面、復(fù)曲面和非球面或波陣面的面型，適用于生產(chǎn)、實(shí)驗(yàn)室的研究，附加模塊可以使軟件適應(yīng)客戶特定的需求，即使購買了μPhase系統(tǒng)，也可以隨時(shí)添加這些模塊。 該軟件控制和顯示測量結(jié)果，存儲(chǔ)和記錄測量原始數(shù)據(jù)，并確保透明度和可追溯性。 憑借其清晰的驅(qū)動(dòng)用戶界面，μShape滿足各種測量要求，并提供了幾個(gè)擴(kuò)展μShape功能的模塊。 |  μShaoe軟件 |
應(yīng)用
| *具有不同訪問權(quán)限的不同用戶等級； *敏感問題在線幫助； *輕松預(yù)設(shè)值的模板，用于大多數(shù)類型的測量任務(wù)和分析； *圖形窗口可以以多種圖形格式存儲(chǔ)（bmp，jpg...）； *將單個(gè)參數(shù)或選定數(shù)據(jù)字段導(dǎo)出為文本，二進(jìn)制或其他常用文件格式（例如：QED，Zygo，XYZ，DigitalSurf）以進(jìn)行外部處理。 *測量結(jié)果以二維或者三維的參數(shù)或圖形顯示為橫截面； *測量協(xié)議一目了然地顯示結(jié)果，并且可以進(jìn)行廣泛配置，包括客戶徽標(biāo)； *常用的程序功能的快捷方式； *各種程序模式允許使用集成的實(shí)時(shí)相機(jī)圖像單獨(dú)顯示校準(zhǔn)和測量過程及其參數(shù)； *使用μShape程序文件中的樣本數(shù)據(jù)存儲(chǔ)所有參數(shù)和設(shè)置，包括窗口大小和位置定期更換可持續(xù)改進(jìn)。 |  多個(gè)孔徑附加模塊 |
附加模塊
為了便于測量擴(kuò)展與進(jìn)一步分析。μShape軟件提供了多種擴(kuò)展模塊，如下所示：
*在球面或CGH設(shè)置中分析非球面；
*分析圓柱面或環(huán)面；
*外部通訊接口，允許外部程序控制干涉儀，如在自動(dòng)化系統(tǒng)中；
*可檢測玻璃板同質(zhì)性；
*可聚焦或不可聚焦元件與系統(tǒng)MTF的分析；
*可一次測量多個(gè)孔徑，如在拋光磨頭上；
*同時(shí)統(tǒng)計(jì)分析多個(gè)子孔徑；
*棱鏡和楔角的檢測與分析；
*考慮已知樣品偏差，例如光學(xué)設(shè)計(jì)偏差；
*軟件分析工具可彌補(bǔ)車床加工誤差；
*晶片分析；
*粗糙度與PSD分析；
*靜態(tài)條紋分析，用于不穩(wěn)定環(huán)境中的快速測量；
軟件附加項(xiàng)
Asphere分析模塊
非球面模塊在非球面設(shè)置中使用計(jì)算機(jī)生成的全息圖來分析旋轉(zhuǎn)對稱的強(qiáng)非球面，在球面設(shè)置中分析弱非球面。可輸入和存儲(chǔ)非球面的數(shù)據(jù)，支持多種格式。非球面擬合能夠去除調(diào)整誤差和系統(tǒng)設(shè)置誤差。
Cylinder分析模塊
Cylinder模塊可在cylindrical設(shè)置中分析圓柱形樣品（使用CGH），圓柱型擬合能夠去除調(diào)整的誤差。
外部接口模塊
外部接口模塊允許μShape和外部軟件之間進(jìn)行通訊，如LabVIEW。
光纖連接模塊
光纖連接附件模塊根據(jù)國際IEC慣例提供PC型（物理接觸）光纖連接器端口分析，一次完成主要參數(shù)的測量并可選擇顯示“通過/未通過”結(jié)果。
同質(zhì)性模塊
在這一模塊中，兩個(gè)影響通過樣品光路的參數(shù)—同質(zhì)性（折射率變化）和厚度變化能夠被確定；
橫向拼接模塊
借助外部控制與分析程序μStitch，您的干涉儀可以子孔徑測量較大的平面或球面樣品，并將它們拼接在一起。獲得整體的表面面型，依需求可添加橫向定位系統(tǒng)。
數(shù)字模塊
在這個(gè)模塊中，不同的數(shù)據(jù)可通過數(shù)學(xué)計(jì)算分析生成的附加結(jié)果圖。暫不可進(jìn)行矩陣操作；
多孔分析模塊
該模塊能夠在一個(gè)視場范圍內(nèi)未連接的子孔徑進(jìn)行測量和分析，例如測量固定在拋光磨頭上的部分。
多重統(tǒng)計(jì)分析
當(dāng)樣品規(guī)格規(guī)定不同樣品子區(qū)域的不同限制時(shí)，MultiStat模塊可在一次測量中完成相關(guān)計(jì)算，并分列每個(gè)區(qū)域的結(jié)果。
棱鏡分析模塊
90°直角棱鏡的角誤差與楔角角度可通過分析角度偏差造成的干涉條紋圖樣測得。
樣品標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)模塊
樣品標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)能夠考慮附加的樣品誤差，例如，與設(shè)計(jì)相關(guān)的標(biāo)注誤差參數(shù)。
工具補(bǔ)償模塊
應(yīng)用于μShape軟件的工具補(bǔ)償模塊能夠補(bǔ)償轉(zhuǎn)臺的準(zhǔn)直誤差。
晶片模塊
晶片分析允許將矩形區(qū)域內(nèi)尺寸的圖形孔徑進(jìn)一步分類，并通過算數(shù)平均值表征每個(gè)子區(qū)域。
Torus分析模塊
在Torus軟件的輔助上，附加環(huán)形樣品在toric或spherical設(shè)置中被分析，余下的調(diào)整誤差可通過環(huán)形擬合消除。
楔角分析模組
楔角分析模組使用待測樣品后的輔助鏡，可經(jīng)一次測量確定平面鏡與光學(xué)平板的楔角。
用戶定制模組
TRIOPTICS開發(fā)了軟件的干涉測量功能，并提供可定制測量程序，計(jì)算特定參數(shù)，依需求顯示和輸出數(shù)據(jù)。
您可以聯(lián)系我們滿足您的更多測量需求。
| | μPhase PLANO DOWN |
| 樣品類型 | 平面 |
| 樣品尺寸（測量范圍） | 可達(dá)φ150 mm |
| 樣品重量(MAX) | 5 kg |
| 校準(zhǔn)工具 | 手動(dòng) |
| 測試范圍半徑測量 | 不適用 |
升級和配件
μPhase 具有模塊化的系統(tǒng)，其應(yīng)用范圍可通過升級軟件與配件進(jìn)行拓展。下列配件與功能都可以額外購買。
μPhase 500高分辨率
μPhase 500相機(jī)分辨率可被升級為1000 x 1000 像素。該功能可在購買時(shí)或之后實(shí)現(xiàn)。
配件
多種測量鏡頭
μPhase 設(shè)備都具有卡口鏈接功能，可實(shí)現(xiàn)不同系統(tǒng)配套之間快速和簡便的交換，使干涉儀的應(yīng)用范圍在購買后仍可繼續(xù)擴(kuò)大。
平面、球面參考表面
各種直徑的無涂層表面或鏡面表面，以實(shí)現(xiàn)良好的對比度和測試目標(biāo)適應(yīng)性。
分析
不直接鏈接μPhase 硬件也可以進(jìn)行離線分析與文檔整理。
