μPhase® UNIVERSAL - 適用于所有測量的水平式干涉儀
干涉儀測量的樣品
主要特點(diǎn) μPhase® UNIVERSAL 適用于研發(fā)中的測量，是μPhase系列比較靈活的檢測儀器。水平式設(shè)計(jì)可以測量多種類型的鏡頭以及不同尺寸，半徑、材料的光學(xué)部件。 
*通用的2,4,6英尺的測量系統(tǒng)，可檢測平面和球面；
*水平機(jī)身，允許測量曲率半徑；
*半徑測量系統(tǒng)集成導(dǎo)軌和光柵尺；
*與4英寸標(biāo)準(zhǔn)球面物鏡相兼容；
*可選CGH，用于測量非球面、柱面、環(huán)面等；
*依需求可檢測傳輸能力或同質(zhì)性；
μShape®干涉儀軟件
| 每個μPhase干涉儀都提供了一個應(yīng)用的μShape軟件的版本。它用于測量平面、球面、圓柱面、復(fù)曲面和非球面或波陣面的形貌，適用于生產(chǎn)，實(shí)驗(yàn)室和研究，附加模塊可以使軟件適應(yīng)客戶特定的需求，即使購買了μPhase系統(tǒng)，也可以隨時添加這些模塊。 該軟件控制和顯示測量結(jié)果，存儲和記錄所有測量的原始數(shù)據(jù)，并確保透明度和可追溯性。 憑借其清晰的驅(qū)動用戶界面，μShape滿足各種測量要求，并提供幾個擴(kuò)展μShape功能的模塊。 |  μShape干涉儀軟件 |
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應(yīng)用
| *不同用戶等級。不同權(quán)限； *輕松設(shè)置所欲測量與分析任務(wù)； *圖形窗口可以以多種圖像格式存儲（bmp，jpg...）; *可將個人參數(shù)貨數(shù)據(jù)導(dǎo)出為文本，二進(jìn)制或其他通用文件格式（例如，QED，Zygo，XYZ，DigitalSurf）； *測量結(jié)果以參數(shù)貨2D，3D圖形方式呈現(xiàn)； *測量協(xié)議結(jié)果一目了然，客戶可自定配置； *常用功能的快捷方式； *校準(zhǔn)和測量過程的攝像機(jī)圖像單獨(dú)可視化； *μShape 問題中存儲所有參數(shù)和設(shè)置（包括窗口大小、位置、樣本數(shù)據(jù)）； *持續(xù)改進(jìn)，定期更新； |  多個孔徑附加 |
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為便于測量擴(kuò)展與進(jìn)一步分析，μShape軟件提供了多種拓展模塊，如下所示：
*在球面或CGH設(shè)置中分析非曲面；
*分析圓柱或環(huán)面；
*外部通訊接口，允許外部程序控制干涉儀，如在自動化系統(tǒng)中；
*可檢測玻璃板的同質(zhì)性；
*可聚焦或不可聚焦元件與系統(tǒng)的MTF的分析；
*可一次測量多個孔徑，如在拋光磨頭上；
*同時統(tǒng)計(jì)分析多個子孔徑；
*棱鏡和楔角的檢測與分析；
*考慮已知樣品偏差，例如光學(xué)設(shè)計(jì)偏差；
*軟件分析工具可彌補(bǔ)車床的加工誤差；
*晶片分析；
*粗糙度與PSD分析；
*靜態(tài)條紋分析，用于不穩(wěn)定環(huán)境中進(jìn)行快速測量；
軟件附加項(xiàng)
Asphere分析模塊
非球面模塊在非球面設(shè)置中使用計(jì)算機(jī)生成的全息圖（CGH）分析旋轉(zhuǎn)對稱的非球面，在球面設(shè)置中分析非球面，可輸入和存儲非球面數(shù)據(jù)，支持多種格式，非球面擬合能夠除去調(diào)整誤差和系統(tǒng)設(shè)置的誤差。
Cylinder分析模塊
Cylinder模塊可在cylindrical設(shè)置中分析圓柱形樣品（使用CGH），圓柱形擬合能夠除去調(diào)整誤差。
外部接口模塊
外部接口模塊允許μShape和外部軟件之間進(jìn)行通訊，如 LabVIEW。
光纖連接模塊
光纖連接附加模塊根據(jù)國際IEC慣例提供PC型（物理接觸）光纖連接器端面分析，一次完成主要參數(shù)的測量并可選擇顯示“通過/未通過”結(jié)果。
同質(zhì)性模塊
在這一模塊中，兩個影響通過樣品光路的參數(shù)—同質(zhì)性（折射率變化）和厚度變化能夠被確定。
橫向拼接模塊
借助外部控制與分析程序μStitch，您的干涉儀可以以子孔徑測量較大的平面或球面樣品，并將它們拼接在一起。
數(shù)字模塊
在這個模塊中，不同的數(shù)據(jù)圖可通過數(shù)字計(jì)算分析生成附加結(jié)果的圖形，暫不可進(jìn)行矩陣操作。
多孔徑分析模塊
該模塊能夠在一個視場角范圍內(nèi)對未連接的子孔徑進(jìn)行測量和分析，例如測量固定在拋光磨頭的部分。
多重統(tǒng)計(jì)分析
當(dāng)樣品規(guī)格規(guī)定不同樣品子區(qū)域的不同限制時，MultiStat模塊可在一次測量中完成相關(guān)計(jì)算，并分列出每個區(qū)域的結(jié)果。
棱鏡分析模塊
90°直角棱鏡的角誤差與楔角角度可通過分析角度偏差造成的干涉條紋圖樣。
樣品標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)模塊
樣品標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)能夠考慮附加的樣品誤差，例如，與設(shè)計(jì)相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)誤差參數(shù)。
工具補(bǔ)償模塊
應(yīng)用于μShape軟件的工具補(bǔ)償模塊能夠補(bǔ)償轉(zhuǎn)臺的準(zhǔn)直誤差。
晶片分析模塊
晶片分析允許將矩形區(qū)域內(nèi)尺寸的圓形孔徑進(jìn)一步分類，并通過算數(shù)平均值表征每個子區(qū)域。
Torus分析模塊
在Torus軟件的輔助下，附加環(huán)形樣品在toric或spherical設(shè)置中被分析，余下調(diào)整誤差可通過環(huán)形擬合消除。適合檢測隱形眼鏡和晶片模型。
楔形分析模組
楔形分析模組使用待測樣品后的輔助鏡，可經(jīng)一次測量確定平面鏡與光學(xué)平板的楔角。
用戶定制模組
TRIOPTICS開發(fā)了軟件的干涉測量功能，并提供可定制的測量程序，計(jì)算特定參數(shù)，依需求顯示和輸出數(shù)據(jù)，您可聯(lián)系我們滿足您的更多測量需求。
| | μPhase UNIVERSAL |
| 樣品類型 | 平面 球面 |
| 樣品尺寸（測量范圍） | 可達(dá)φ150mm，樣本大小取決于版本和測試鏡頭 |
| 樣品重量(MAX) | 1.5kg |
| 校準(zhǔn)工具 | 手動XY方向調(diào)整、傾角調(diào)整和Z軸調(diào)整 |
| 測量半徑范圍(MAX) | 2m |
升級與配件
μPhase具有模塊化的系統(tǒng)，其應(yīng)用范圍可通過升級軟件與配件進(jìn)行拓展，下列配件與功能都可額外購買。
μPhase 500高分辨率
μPhase 500相機(jī)分辨率可被升級為1000 x 1000像素。該功能可在購買時或之后實(shí)現(xiàn)。
配件
多種測量鏡頭
所有μPhase設(shè)備都具有卡口連接功能，可實(shí)現(xiàn)不同配置之間快速和簡便的交換，是干涉儀的應(yīng)用范圍在購買后仍可繼續(xù)擴(kuò)大。
平面、球面參考表面
各種直徑的無涂層表面或鏡面表面，以實(shí)現(xiàn)對比度和測試目標(biāo)適應(yīng)性。
分析
不直接連接μPhase硬件也可以離線分析與文檔整理。
