μPhase® SPHERO UP - 生產中檢測非球面零件的干涉儀設備
| 這些緊湊和經濟實惠的全包式干涉儀比較適合生產。由于它們占地面積小，它們可以放置在生產機器旁邊，樣品在加工后直接測量。μPhase® Sphero UP向上測量球形樣品，樣品位于儀器的頂部。 |  球面透鏡的干涉測量 |
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主要特征
*用于測量球形樣品；
*直徑可達50mm；
*占地面積小；
*振動不敏感；
*測量系統不需要重新校準；
*直觀和簡單的處理使不熟悉的人員可以使用；
μShape干涉儀軟件
| 每個μPhase干涉儀提供了一個應用的μShape軟件版本，它用于測量平面、球面、圓柱面、復曲面和非球面和波陣面的形貌，適用于生產，實驗室的研究。附加模塊可以使軟件適應客戶特定的需求，即使購買了μPhase系統也可以隨時添加這些模塊。 該軟件控制和顯示測量結果，存儲和記錄所有測量原始數據，并確保透明度和可追溯性。 憑借其清晰的驅動用戶界面，μShape功能的模塊。 |  μShape干涉儀軟件 |
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應用
| *具有不同訪問權限的不同用戶級別； *敏感問題在線幫助； *輕松配置的模板，用于測量任務和分析： *圖形窗口可以以多種圖形格式存儲（bmp，jpg...）; *將單個參數或選定數據字段導出為文本，二進制或其他常用的文件格式（例如：QED，Zygo，XYZ，DigitalSurf）以進行外部處理； *測量結果以二維或三維的參數或圖形顯示為橫截面； *測量協議一目了然的顯示結果，并且可以進行廣泛配置，包括客戶徽標； *常用的程序功能的快捷方式； *各種程序模式允許使用集成的實時相機圖像單獨顯示校準和測量過程及其參數； *使用μShape程序文件中的樣本數據存儲所有參數和設置，包括窗口大小和位置； *定期更新可持續改進； |  多個孔徑附加模塊 |
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附加模塊
為便于測量擴展與進一步分析，μShape軟件提供了多種拓展模塊，如下所示：
*在球面或CGH設置中分析非球面；
*分析圓柱面或環面；
*外部通訊接口，允許外部程序控制干涉儀，如在自動化系統中；
*可檢測玻璃玻璃板的同質性；
*可聚焦或不聚焦元件與系統的MTF的分析；
*可一次測量多個孔徑，如在拋光面上；
*同時統計分析多個孔徑；
*棱鏡和楔角的檢測與分析；
*考慮已知樣品偏差，例如光學設計偏差；
*軟件分析工具可彌補車床加工的誤差；
*晶片分析；
*粗糙度與PSD分析；
*靜態條紋分析，用于不穩定環境中進行快速測量；
軟件附加項
Asphere分析模塊
非球面模塊在非球面設置中使用計算機生成的全息圖分析旋轉對稱的非球面，在球面設置中分析非球面。可輸入和存儲非球面數據，支持多種格式。非球面擬合能夠除去調整誤差和系統的設置的誤差。
Cylinder分析模塊
Cylinder模塊可在cylindrical設置中分析圓柱形的樣品（使用CGH），圓柱型擬合能夠除去調整誤差，
外部接口模塊
外部接口模塊允許μShape和外部軟件之間進行通訊。如Lab VIEW。
光纖連接模塊
光纖連接附加模塊根據IEC慣例提供PC（物理接觸）光纖連接器端面的分析，一次完成主要參數的測量并可選擇“通過/未通過”的結果。
同質性模塊
在這一模塊中，兩個影響通過樣品的光路參數——同質性（折射率變化）和厚度變化能夠被確定。
橫向拼接模塊
借助外部控制與分析程序μStitch，您的干涉儀可以以子孔徑測量較大的平面或球面樣品，并將它們拼接在一起，獲得整體的表面面型，依需求可添加橫向定位系統。
數字模塊
在這個模塊中，不同的數據圖可通過數字計算分析生成附加結果圖。暫不可進行矩陣操作。
多孔徑分析模塊
該模塊能夠在一個視場角內對未連接的子孔徑進行測量和分析，例如測量固定在拋光面上的部分。
多重統計分析
當樣品規格規定不同樣品子區域的不同限制時。MultiStat模塊可在一次測量中完成相關的計算，并分列出每個區域的結果。
棱鏡分析模塊
90°直角棱鏡的角誤差與楔角角度可通過分析角度偏差造成的干涉條紋測得圖樣。
樣品標準數據模塊
樣品標準數據能夠考慮附加的樣品誤差，例如，與設計相關的標準誤差參數。
工具補償模塊
應用于μShape軟件的工具補償模塊能夠補償轉臺的準直誤差。
晶片分析模塊
晶片分析允許矩形區域內尺寸的圓形孔徑進一步分類，并通過算數平均值表征每個字區域。
Torus分析模塊
在Torus軟件的輔助下，附加環形樣品在toric或spherical設置中被分析。余下的調整誤差可通過環形擬合消除。
楔形分析模組
楔形分析模組使用待測樣品后的輔助鏡，可經一次測量確定平面鏡與光學平板的楔角。
用戶定制模組
TRIOPTICS開發了軟件的干涉儀的測量功能，并提供可定制的測量程序，計算特定參數，依需求顯示和輸出數據。您可聯系我們滿足您的更多測量需求。
| | μPhase SPHERO UP |
| 樣品類型 | 球面 |
| 樣品尺寸（測量范圍） | 可達 φ 50mm |
| 校準工具 | 手動xy方向調整、傾角調整和聚焦 |
| 測量半徑范圍 | 通常 10 - 150mm |
升級和配件
μPhase具有模塊化的系統，其應用范圍可通過升級軟件與配件進行拓展，下列配件與功能都可額外購買。
μPhase 500高分辨率
μPhase 500相機分辨率可被升級為1000 x 1000像素，該功能可在購買時或之后實現。
配件
多種測量鏡頭
μPhase設備都具有卡口連接功能，可實現不同系統配置之間快速和簡便的交換，使干涉儀的應用在購買后仍可繼續擴大。
平面、球面參考表面
各種直徑的無涂層表面或鏡面表面，以實現對比度和測試目標適應性。
分析
不直接連接μPhase 硬件也可進行離線分析和文檔管理。
