| 名稱 | 參數 |
| 載物臺大小 | 220*180mm |
| XY行程 | 220*180mm |
| 視野（FOV） | 50mm |
| 視野（FOV） | 50μm |
| 載物臺負荷 | 8KG |
| 被測物體面積 | 220*180*220mm |
| 軸數 | 3軸 |
| 運動速度 | 100mm/s |
| 最小步進精度 | ＜3μm |
| 空間分辨率 | 3μm |
| 穿透力 | 30mm鋁板 |
| 灰度級 | 12級 |
| 系統倍率 | 150倍（幾何倍率25倍） |
| 管電壓KV | 60KV |
| 管電流uA | 100uA |
| 光管類型/焦斑 | 一體式油冷微焦光斑光管，FOCUS=50um |
| 圖像接收器 | 光纖數字成像面板 |
| 圖像接收器傾斜 | 0° |
| 輻射參考：GB15208.1～2005 | 輻射值≤1usv |
| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
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