| 型號參數 | MLK X2000 | MLK X2000S | MLK X2000P |
| 載物臺大小 | 480*450mm | 480*450mm | 480*450mm |
| XY 行程 | 450*480mm | 450*480mm | 450*480mm |
| 視野（FOV） | 100mm | 100mm | 100mm |
| 最小視野（FOV） | 2.5mm | 2.5mm | 2.5mm |
| 載物臺負荷 | 10kg | 10kg | 10kg |
| 被測物體體積 | 480*450*150mm | 480*450*150mm | 480*450*150mm |
| 軸數 | 5 軸 | 6 軸 | 6 軸 |
| 運動速度可達 | 100mm/s | 100mm/s | 100mm/s |
| 最小步進精度 | <3um | <3um | <3um |
| 空間分辯率 | 3um | 2um | 2um |
| 穿透力 | 50mm 鋁板 | 60mm 鋁板 | 60mm 鋁板 |
| 灰度級 | 12 級 | 12 級 | 12 級 |
| 系統倍率 | 300 倍（幾何倍率 50 倍） | 300 倍（幾何倍率 50 倍） | 300 倍（幾何倍率 50 倍） |
| 管電壓 KV | 100KV | 100KV | 100KV |
| 管電流 uA | 200uA | 250uA | 250uA |
|
光管類型/焦斑 | 封閉式油冷微焦斑光管， FOCUS=5um | 一體式油冷微焦斑光管， FOCUS=5um | 封閉式油冷微焦斑光管， FOCUS=5um |
| 圖象接收器 | 200CCD+II 相機 | 光纖數字成像面板 | 光纖數字成像面板 |
| 圖象接收器傾斜 | Max70° | Max70° | Max70° |
| 輻射參考： GB15208.1～2005 | 輻射值≤1usv | 輻射值≤1usv | 輻射值≤1usv |
