產品介紹INTRODUCTION
Park NX20 300mm是業界大樣品原子力顯微鏡，支持300mmX300mm全程機動化。
新升級的Park NX20系統專為失效分析和質量控制實驗室設計，可有效地檢測整個300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移。
經檢驗的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動化取消了樣本調整的需求, 并使ParkNX2 0的掃描過程盡可能高效和便于使用。
通過我們的SmartScan測量界面，用戶可以在整個300mmx300mm 區域輕松實現可靠與可重復的順序多站點測量。
NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的。
靈活的300mm樣品吸盤--Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、 形狀和類型的晶圓,讓用戶幾乎可準確掃描任何樣品。
特點FEATURES
專為大樣品晶圓檢測而建
NX20 300 mm進行了全新設計,可大樣品的測量。整個300mm晶圓區域可進行低噪聲原子力顯微 鏡測量分析。這幵啟了一個全新的自動化測量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡便、更精確地幵展工作。
NX20支持300mm樣品臺，性能已被證實
因其的易用性和自動化以及不受影響的精度,NX20已是FA、QA和QC工程師的。
憑借其支持300mm電動XY軸工作臺的擴大平臺,NX20 300mm更上一層樓，允許用戶輕松地以的精度檢測更大的樣品。
Park讓精確測量更為簡單
ParkNX20配備了我們的SmartScan操作系統，使其成為市場上最易于使用的原子力顯微鏡之一。 通過直觀極為強大的界面，即便是未經培訓的用戶無需也可快速掃描大樣品。
這使高級工程師能夠集中精力解決更大的問題和幵發更好的解決方案。
在完整300mm晶圓上掃描多個位點
SmartScan允許用戶從位點到位點和樣品到樣品的層面上,借助基于網格和晶圓的模式，進行自動順序測量 表面形態、高度和表面粗糙度的比較。這可以大大提高掃描大樣品時的用戶便利性和生產效率。
