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MPG40x 大氣壓至超高真空真空計 氦質譜檢漏儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-06-04
  • 廠商性質其他
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  • 產品數量80
  • 人氣值562
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MPG40x 大氣壓至超高真空真空計 INFICON 倒置磁控管皮拉尼MPG400 和 MPG401型真空計測量,范圍范圍從 5 x 10-9毫巴至大氣壓(3.8 x 10-9托至大氣壓)。 將多項技術融合到到一個帶有對數模擬輸出信號的單個緊湊數裝置中,極大降低了安裝、設置和集成的復雜性。
MPG40x 大氣壓至超高真空真空計 氦質譜檢漏儀 產品詳情

益處

  • 復合真空計 – 倒置磁控管與皮拉尼
  • 測量范圍廣,從 5 x 10-9 毫巴到大氣壓
  • 不會出現單絲燒毀的現象
  • 的點火屬性
  • 易于清潔
  • FPM 或金屬密封饋入裝置
  • 高壓 LED 指示燈
  • 對數模擬輸出信號

典型應用

  • 高真空壓力監控
  • 蒸發系統和濺射系統的基本壓力
  • 中高真空范圍內的一般真空測量和控制

規格

類型MPG400 FPM sealedMPG401 metal-sealed
測量范圍(空氣,N2 5 x 10-9 … 1000 5 x 10-9 … 1000
精度 (N2)  
1 x 10-8 … 100 毫巴% of reading≈±30% ≈±30%
可重復性  
1 x 10-8 … 100 毫巴% of reading≈±5% ≈±5%
安裝定位
any any
容許壓力bar (absolute)≤10 (limited to inert gases) ≤10 (limited to inert gases)
容許溫度  
運行(環境)°C+5 … +55 +5 … +55
貯存°C–40 … +65 –40 … +65
烘烤 (1)°C150 150
單絲溫度(皮拉尼)°C120 120
電源電壓  
真空計上V (dc)+15 … +30 +15 … +30
纜線最長的電源裝置 (2)V (dc)+16 … +30 +16 … +30
波紋V (p-p)≤1 ≤1
功耗W≤2 ≤2
可連接的保險絲AT≤1 ≤1
輸出信號(測量信號)  
電壓范圍V0 … +10.5 0 … +10.5
測量范圍V+1.82 … +8.6 +1.82 … +8.6
電壓與壓強
logarithmic, 0.6 volts per decade logarithmic, 0.6 volts per decade
錯誤信號  
無電源V<0.5 <0.5
皮拉尼傳感器,單絲斷裂V>9.5 >9.5
輸出電阻?2 x 10 2 x 10
最小負載電阻k?10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
反應時間  
p > 10-6 毫巴ms<10 <10
p = 10-8 毫巴ms≈1000 ≈1000
識別真空計
85, referenced to supply common 85, referenced to supply common
狀態  
僅皮拉尼模式V
MPG40x 大氣壓至超高真空真空計     
關鍵詞:傳感器
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